Kitajska Polprevodniške komponente Proizvajalci, dobavitelji, tovarna

Kot profesionalni proizvajalec bi vam radi ponudili polprevodniške komponente. Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.

Komponente s prevleko iz SiC visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega vse od grafitnih potrošnih materialov za vroče cone za rast kristalov (grelniki, susceptorji lončkov, izolacija) do visoko natančnih grafitnih komponent za opremo za obdelavo rezin, kot so grafitni susceptorji, prevlečeni s silicijevim karbidom, za epitaksijo ali MOCVD.

Prednosti za polprevodniške procese

Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja grafitno konstrukcijo, prevlečeno s silicijevim karbidom (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.

Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.

Končni efektor →
Končni efektor je robotova roka, ki premika polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih.

Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.

Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, dobavlja Semicorex, ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.

Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.