Nosilec Semicorex RTP je prevlečen s silicijevim karbidom s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD), ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje. V jedru polprevodniškega postopka so epitaksijski suceptorji najprej izpostavljeni okolju za nanašanje, zato ima visoko toplotno in korozijsko odpornost. Nosilec, prevlečen s SiC, ima tudi visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.
● SiC prevlečen grafit visoke čistosti
● Vrhunska toplotna in kemična odpornost
● Visoka toplotna enotnost
● Odlična odpornost proti obrabi