Nosilec Semicorex RTP je prevlečen s silicijevim karbidom s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD), ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje. V jedru polprevodniškega postopka so epitaksijski suceptorji najprej izpostavljeni okolju za nanašanje, zato ima visoko toplotno in korozijsko odpornost. Nosilec, prevlečen s SiC, ima tudi visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.
● SiC prevlečen grafit visoke čistosti
● Vrhunska toplotna in kemična odpornost
● Visoka toplotna enotnost
● Odlična odpornost proti obrabi
Semicorex RTP Ring je grafitni obroč, prevlečen s SiC, zasnovan za visoko zmogljive aplikacije v sistemih hitre toplotne obdelave (RTP). Izberite Semicorex za našo napredno tehnologijo materialov, ki zagotavlja vrhunsko vzdržljivost, natančnost in zanesljivost pri proizvodnji polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorexova grafitna nosilna plošča RTP je popolna rešitev za aplikacije obdelave polprevodniških rezin, vključno z epitaksialno rastjo in obdelavo obdelave rezin. Naš izdelek je zasnovan tako, da nudi vrhunsko toplotno odpornost in toplotno enotnost, kar zagotavlja, da so epitaksijski suceptorji izpostavljeni okolju nanašanja z visoko toplotno in korozijsko odpornostjo.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex RTP SiC Coating Carrier ponuja vrhunsko toplotno odpornost in toplotno enakomernost, zaradi česar je popolna rešitev za obdelavo polprevodniških rezin. Z visokokakovostnim grafitom, prevlečenim s SiC, je ta izdelek zasnovan tako, da prenese najtežja okolja nanašanja za epitaksialno rast. Visoka toplotna prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote zagotavljajo zanesljivo delovanje pri RTA, RTP ali močnem kemičnem čiščenju.
Preberi večPošlji povpraševanjeNosilec prevleke Semicorex RTP/RTA SiC je zasnovan tako, da prenese najtežje pogoje okolja nanašanja. S svojo visoko toplotno in korozijsko odpornostjo je ta izdelek zasnovan tako, da zagotavlja optimalno delovanje za epitaksialno rast. Nosilec, prevlečen s SiC, ima visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote, kar zagotavlja zanesljivo delovanje pri RTA, RTP ali močnem kemičnem čiščenju.
Preberi večPošlji povpraševanjeNosilna plošča Semicorex SiC Graphite RTP za MOCVD ponuja vrhunsko toplotno odpornost in toplotno enakomernost, zaradi česar je popolna rešitev za aplikacije za obdelavo polprevodniških rezin. Z visokokakovostnim grafitom, prevlečenim s SiC, je ta izdelek zasnovan tako, da prenese najtežja okolja nanašanja za epitaksialno rast. Visoka toplotna prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote zagotavljajo zanesljivo delovanje pri RTA, RTP ali močnem kemičnem čiščenju.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC prevlečena RTP nosilna plošča za epitaksialno rast je popolna rešitev za aplikacije za obdelavo polprevodniških rezin. Ta izdelek je s svojimi visokokakovostnimi ogljikovimi grafitnimi sprejemniki in kremenčevimi lončki, obdelanimi z MOCVD na površini grafita, keramike itd., idealen za ravnanje z rezinami in obdelavo epitaksialne rasti. Nosilec s prevleko iz SiC zagotavlja visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote, zaradi česar je zanesljiva izbira za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Preberi večPošlji povpraševanje