Kitajska Si epitaxy Proizvajalci, dobavitelji, tovarna

In CVD equipment, epitaxial deposition cannot be performed directly on metal or simply on a base, as this would be affected by various factors. Therefore, a susceptor is required. The substrate is placed on a tray, and epitaxial deposition is then performed on it using CVD technology. This susceptor is a silicon carbide-coated graphite susceptor (also called a wafer holder).

The graphite susceptor is a core component of MOCVD equipment, serving as both a carrier and a heat source for the substrate. Its performance parameters, such as thermal stability and thermal uniformity, determine the uniformity and purity of the thin film material. Therefore, its quality directly impacts epitaxial wafer production. Furthermore, it is highly susceptible to wear and tear with increased use and changes in operating conditions, making it a high-frequency consumable.

However, pure graphite susceptors can corrode and shed, significantly reducing their service life. Furthermore, fallen graphite powder can contaminate the chip. Coating technology, which provides surface powder fixation, enhanced thermal conductivity, and balanced heat distribution, has become a mainstream solution.

Silicon carbide (SiC) boasts numerous excellent properties, including high thermodynamic stability, excellent thermal conductivity, high electron mobility, oxidation and corrosion resistance, and a thermal expansion coefficient similar to that of graphite. It is the preferred material for graphite susceptor surface coatings.

The wafer susceptor is one of the most critical components in silicon epitaxial growth equipment. It supports silicon wafers and, under high-temperature induction or resistance heating, decomposes and deposits the reactant gases on the wafer surface, forming the epitaxial layer. Because of direct contact with high temperatures and reactant gases, Semicorex wafer susceptors utilize a high-purity graphite base and are SiC-coated to extend service life and maintain high purity.

View as

Nosilec rezin

Grafitni nosilec rezin, prevlečen s SiC-jem Semicorex, je zasnovan tako, da zagotavlja zanesljivo rokovanje z rezinami med procesi epitaksialne rasti polprevodnikov, nudi odpornost na visoke temperature in odlično toplotno prevodnost. Z napredno tehnologijo materialov in osredotočenostjo na natančnost Semicorex zagotavlja vrhunsko zmogljivost in vzdržljivost ter zagotavlja optimalne rezultate za najzahtevnejše polprevodniške aplikacije.*

Preberi več Pošlji povpraševanje

Grafitno držalo za rezine

Semicorex SiC Coated Graphite Waferholder je visoko zmogljiva komponenta, zasnovana za natančno rokovanje z rezinami v postopkih rasti polprevodniške epitaksije. Semicorexovo strokovno znanje in izkušnje na področju naprednih materialov in izdelave zagotavljajo, da naši izdelki nudijo neprimerljivo zanesljivost, vzdržljivost in prilagajanje za optimalno proizvodnjo polprevodnikov.*

Preberi več Pošlji povpraševanje

Sprejemnik rezin

Susceptor rezin Semicorex je posebej zasnovan za postopek epitaksije polprevodnikov. Ima ključno vlogo pri zagotavljanju natančnosti in učinkovitosti ravnanja z rezinami. Smo vodilno podjetje v kitajski industriji polprevodnikov, ki je predano zagotavljanju najboljših izdelkov in storitev.*

Preberi več Pošlji povpraševanje

Držalo za rezine

Držalo za rezine Semicorex je kritična komponenta v proizvodnji polprevodnikov in ima ključno vlogo pri zagotavljanju natančnega in učinkovitega ravnanja z rezinami med postopkom epitaksije. Trdno smo zavezani zagotavljanju izdelkov najvišje kakovosti po konkurenčnih cenah in se veselimo začetka poslovanja z vami.*

Preberi več Pošlji povpraševanje

GaN-on-Si Epi Wafer Chuck

Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck je natančno zasnovano držalo za substrat, zasnovano posebej za ravnanje in obdelavo galijevega nitrida na silicijevih epitaksialnih rezinah. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Preberi več Pošlji povpraševanje

Cev suceptor s prevleko SiC

Semicorex Barrel Susceptor s prevleko SiC je vrhunska rešitev, zasnovana za dvig učinkovitosti in natančnosti epitaksialnih postopkov silicija. Izdelan s skrbno pozornostjo do detajlov, je ta sodčasti susceptor s prevleko iz SiC prilagojen zahtevnim zahtevam proizvodnje polprevodnikov, saj služi kot optimalno držalo za rezine in omogoča brezhiben prenos toplote na rezine. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Preberi več Pošlji povpraševanje

<1 2 >

Semicorex že vrsto let proizvaja Si epitaxy in je eden izmed profesionalnih proizvajalcev in dobaviteljev Si epitaxy na Kitajskem. Ko kupite naše napredne in trpežne izdelke, ki dobavljajo pakiranje v razsutem stanju, vam zagotavljamo hitro dostavo velike količine. Skozi leta smo strankam zagotavljali prilagojene storitve. Stranke so zadovoljne z našimi izdelki in odlično storitvijo. Iskreno se veselimo, da bomo postali vaš zanesljiv dolgoročni poslovni partner! Dobrodošli pri nakupu izdelkov iz naše tovarne.