Grafitni pladenj, prevlečen s SiC

Grafitni pladenj, prevlečen s SiC, je vrhunski polprevodniški del, ki daje Si substratom natančen nadzor temperature in stabilno podporo med procesom epitaksialne rasti silicija. Semicorex vedno daje glavno prednost povpraševanju kupcev in strankam zagotavlja rešitve osnovnih komponent, ki so potrebne za proizvodnjo visokokakovostnih polprevodnikov.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Kot primarna komponenta epitaksialne opreme jeGrafitni pladenj, prevlečen s SiC, neposredno vpliva na učinkovitost proizvodnje, enakomernost in stopnjo napak pri rasti epitaksialne plasti.

S čiščenjem grafita, natančno obdelavo in čiščenjem lahko površina grafitne podlage doseže odlično ravnost in gladkost, s čimer se uspešno izogne nevarnosti kontaminacije z delci. S kemičnim nanašanjem iz pare je površina grafitne podlage podvržena kemični reakciji z reaktivnim plinom, pri čemer nastane gosta prevleka iz silicijevega karbida (SiC) brez por in enakomerne debeline. Od priprave substrata do obdelave premaza se celoten proizvodni proces izvaja v čisti sobi razreda 100, ki izpolnjuje standarde čistoče, primerne za polprevodnike.

Grafitni pladenj, prevlečen s SiC, ki je izdelan iz grafita visoke čistosti z nizko vsebnostjo nečistoč in SiC materialov, ima odlično toplotno prevodnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja. Grafitnemu pladnju, prevlečenemu s SiC, ne omogoča le hitrega in enakomernega prenosa toplote za izboljšanje kakovosti rasti epitaksialne plasti, temveč tudi učinkovito zmanjša tveganje luščenja ali razpok prevleke zaradi toplotne obremenitve. Poleg tega je enotna in gosta prevleka SiC odporna na visoke temperature, oksidacijo in korozijo, kar zagotavlja dolgotrajno stabilno delovanje pri visokih temperaturah in korozivnih plinih.

Grafitni pladenj, prevlečen s SiC, je bolj združljiv z opremo za kemično nanašanje kovinsko-organskih plinov (MOCVD). Natančno je bil dimenzioniran in zasnovan za prilagajanje različnim procesnim parametrom in zahtevam opreme. Semicorex vedno vztraja pri zagotavljanju profesionalnih prilagojenih storitev našim cenjenim strankam, da bi natančno izpolnili njihove zahteve glede različnih velikosti, debeline prevleke in površinske hrapavosti grafitnega pladnja, prevlečenega s SiC.