Pokrovi komor se uporabljajo za ustvarjanje čistega, inertnega in zaščitenega okolja v komorah za nanašanje, tako da so med postopki nanašanja ali jedkanja izpostavljeni plazmi in visoki temperaturi. Pokrovi komor Semicorex so trpežne keramične komponente, prevlečene s silicijevim karbidom z metodo kemičnega naparjevanja (CVD), ki so odlične za kos tem zahtevnim okoljem.