Sic pokrov

Pod polčas Sic je pomemben del, ki je zasnovan posebej za polprevodniško obdelavo. Zasnovan je za najtežja okolja v epitaksiji, ionskih implantiranih in visokotemperaturnih aplikacijah. Izdelana je iz ultra-pure silicijevega karbida, ki ima izjemno stabilne materialne lastnosti in natančnost. Dolgoročna skladnost, trajnost in čistoča so ključni razlogi za izbiro polpredstavnostnega pokrova za uporabo v naprednih postopkih izdelave polprevodnikov.

Silicijev karbid (sic)Ima vrsto lastnosti, ki so edinstvene v primerjavi s tradicionalno keramiko ali kovinskimi materiali. Ena glavnih prednosti SIC je njegova odpornost na visoke temperature. SIC lahko ohrani svojo strukturno celovitost in mehansko stabilnost - dolgo časovna obdobja tudi pri povišanih temperaturah. Zaradi tega je SIC idealen za procese, kot je kemična odlaganje hlapov (CVD) epitaksija ali visokoenergijska ionska implantacija. Kovine in plastika bi se pri ekstremnih temperaturah deformirali, oksidirali ali onesnažili, medtem ko bo SIC ohranil svojo dimenzijsko stabilnost in ne bo pozitivno vplival na predelavo rezin.

Kemična odpornost je še ena značilnost pokrovov SIC. Pri polprevodniškem obdelavi okolja, s katerimi se lahko srečate s korozivnimi plini, plazmi ali reaktivnimi kemikalijami, niso redke. V teh scenarijih bo SIC površina zagotovila inertno oviro, da se upira tistim onesnaževalcem, da se sčasoma razgradijo površino, kar bo povzročilo daljše učinkovito življenje. Ta dolgoživost pomeni zmanjšane stroške vzdrževanja, skrajšani čas zmanjšanja opreme in ponovljivost v razširjenih procesnih ciklih. Ti dejavniki naredijo SIC pokrov boljše možnosti za Fabs, ki potrebujejo neprekinjeno proizvodnjo z visokim donosom v primerjavi s tradicionalnimi materiali.

Tako kot kemična odpornost je tudi čistost najpomembnejša pri uporabi polprevodnikov. Prisotnost onesnaževal v sledovih lahko negativno vpliva na delovanje in donos naprave. Sic pokrov je izdelan iz materialov iz silicijevega karbida z visoko čistostjo, ki izključuje možnost kovinskih nečistoč, ki tečejo v procesno okolje. Poleg tega je zagotovljeno, da je čim bolj čist in stabilen, saj se nanaša na onesnaževalce in zunanje sile, ki vplivajo na zmogljivost pokrova, kar je ključnega pomena pri izpolnjevanju današnjih zahtev za izdelavo polprevodnikov, kjer je treba predmete nanometra določiti z natančno natančnostjo in nadzorom onesnaževalcev. Prilagodljivost, ki jo ponuja SIC pokrov, je dodatna vrednost. Vsaka komponenta je lahko zasnovana za potrebe določenih strank glede na velikost, geometrijo in površinsko obdelavo. To zagotavlja, da je pokrov mogoče enostavno vključiti v in ga vključiti z različnimi modeli opreme in orodji za procesna oprema.

Natančnost obdelaveSicPokrov še izboljša vrednost pokrovov SIC. Polprevodniška orodja zahtevajo najvišjo mehansko natančnost zaradi velikih nihanj dimenzijske združljivosti in površinske enakomernosti, tudi manjše odstopanja v enakomernosti in debelini materiala lahko močno ogrožajo konsistence procesa orodja, pretok in kakovost izdelka. Skozi napredne tehnologije pri obdelavi materialov imajo SIC pokrovi ravnost, površinsko enakomernost in tolerance, ki presegajo običajne industrijske standarde, ki ponujajo mehansko debelino površine tesnjenja, običajno na tisoče/tisoč palcev (TIR). Visoka plodnost omogoča tesnjenje mehanske prileganja, pa tudi zagotovilo za omejitve laboratorijskega razreda za doživetje pogojev v proizvodnem procesu je mogoče ponoviti. To je še posebej očitno v velikih količinah, kjer je poudarek na ponovljivosti pogojev ključnega pomena za delovanje naprav za polprevodnike. Ko zasledujete natančno inženiring, govori neposredno, da bi dosegel optimizacijo. When SiC lids are in typical practical use, for example, in epitaxy where the SiC lid sits thermally and chemically stable to get in the reactor, or in an ion implantation system to resist energetic particles ejected from a high power beam of ions hitting the lid, their mechanical configurations and properties maintained their performance under constant bombardment of energetic solids, stable to operating conditions and maintenance were Potencialni zavezi, zakaj so SIC-ji usojeni, da so sinonim za trdno stanje polprevodnikov.

Polkovnik SIC predstavlja najboljše od znanosti o materialih in materialih in ponuja najboljše zmogljivosti v polprevodniškem okolju, med njihovimi visokimi temperaturnimi tolerancami, kemično odpornostjo, idealno čistostjo, izdelavo po meri, natančno obdelavo, bo deloval SIC.