Med predelavo je treba polprevodniške rezine segrevati v specializiranih pečeh. Reaktor je sestavljen iz podolgovatih cilindričnih cevi, v katerih so rezine nameščene na rezinah na vnaprej določeni enaki razdalji. Da bi preživeli pogoje obdelave v komori in zmanjšali količino odpadkov v rezinah iz opreme za obdelavo, rezine in številne druge naprave, ki se uporabljajo pri obdelavi rezin, so izdelane iz materiala, kot je silicijev karbid (SiC).
Čolni, natovorjeni s serijo rezin za obdelavo, so nameščeni na dolgih konzolnih lopaticah, s katerimi jih je mogoče vstaviti v cevaste peči in reaktorje in jih odstraniti iz njih. Vesla vključujejo sploščen nosilni del, na katerega je mogoče namestiti enega ali več čolnov, in dolg ročaj, nameščen na enem koncu sploščenega nosilnega dela, s katerim je mogoče rokovati z veslom.
Konzolno lopatico priporočamo za uporabo rekristaliziranega silicijevega karbida s tanko plastjo CVD SiC, ki je visoke čistosti in najboljša izbira za komponente pri obdelavi polprevodnikov.
Semicorex lahko zagotovi storitev po meri glede na risbe in delovno okolje.
Semicorex High Purity SiC Cantilever Paddle je narejen iz sintrane SiC keramike visoke čistosti, ki je strukturni del v vodoravni peči v polprevodniku. Semicorex je izkušeno podjetje za dobavo komponent SiC v industriji polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Ceramic Paddle je konzolna komponenta visoke čistosti, zasnovana za polprevodniške visokotemperaturne peči, ki se uporabljajo predvsem v oksidacijskih in difuzijskih procesih. Izbira Semicorexa pomeni pridobitev dostopa do naprednih keramičnih rešitev, ki zagotavljajo izjemno stabilnost, čistočo in vzdržljivost za kritične aplikacije rokovanja z rezinami.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Paddles so konzolna roka iz silicijevega karbida visoke čistosti, zasnovana za transport rezin v visokotemperaturnih oksidacijskih in difuzijskih pečeh nad 1000 ℃. Izbira Semicorexa pomeni zagotavljanje izjemne kakovosti materiala, natančnega inženiringa in dolgoročne zanesljivosti, ki ji zaupajo vodilne tovarne polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanje