Kot profesionalni proizvajalec bi vam radi ponudili polprevodniške komponente. Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
Komponente s prevleko iz SiC visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega vse od grafitnih potrošnih materialov za vroče cone za rast kristalov (grelniki, susceptorji lončkov, izolacija) do visoko natančnih grafitnih komponent za opremo za obdelavo rezin, kot so grafitni susceptorji, prevlečeni s silicijevim karbidom, za epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja grafitno konstrukcijo, prevlečeno s silicijevim karbidom (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Končni efektor →
Končni efektor je robotova roka, ki premika polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, dobavlja Semicorex, ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Enokristalne silicijeve elektrode Semicorex služijo kot elektrode in poti plina za jedkanje med postopkom jedkanja rezin. Enokristalne silicijeve elektrode Semicorex so nepogrešljive silicijeve komponente, izdelane posebej za visokokakovostno proizvodnjo polprevodniškega jedkanja, ki lahko pomagajo izboljšati natančnost in enotnost jedkanja.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Cantilever Paddles so natančno izdelana komponenta, zasnovana za uporabo pri obdelavi polprevodnikov pri visokih temperaturah in visoki čistosti. Semicorex zagotavlja visokokakovostne konzolne lopatice za izpolnjevanje zahtevnih zahtev naprednega upravljanja z rezinami in sistemov za upravljanje toplote.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSilicijevi obroči za jedkanje Semicorex so natančne komponente za jedkanje v obliki obroča, izdelane iz monokristalnega silicija visoke čistosti. So bistveni silikonski deli, ki se uporabljajo v opremi za plazemsko jedkanje in so zasnovani posebej za ustvarjanje optimalnih pogojev za plazemsko jedkanje. Izberite Semicorex, izberite visokokakovostne silikonske obroče za jedkanje.
Preberi večPošlji povpraševanjePečne cevi Semicorex za LPCVD so natančno izdelane cevaste komponente z enotno in gosto CVD SiC prevleko. Posebej zasnovane za napreden postopek nizkotlačnega kemičnega naparjevanja, so cevi peči Semicorex za LPCVD sposobne zagotoviti ustrezna visokotemperaturna in nizkotlačna reakcijska okolja za izboljšanje kakovosti in izkoristka tankoslojnega nanašanja rezin.
Preberi večPošlji povpraševanjePečne cevi Semicorex CVD, prevlečene s SiC, so vrhunske cevaste komponente, izdelane posebej za visokotemperaturno obdelavo polprevodnikov, kot so oksidacija, difuzija in žarjenje polprevodniških rezin. Semicorex je z izkoriščanjem naprednih tehnologij obdelave in zrelih proizvodnih izkušenj zavezan dobavljanju cevi za peč, prevlečenih s CVD SiC, ki so prevlečene s CVD, vodilne kakovosti za naše cenjene stranke.
Preberi večPošlji povpraševanjeProcesne cevi Semicorex SiC so izdelane iz SiC keramike visoke čistosti s CVD SiC prevleko, primerne so za horizontalne peči v Semiconductor. Glede na kakovost izdelkov in poprodajnih storitev je Semicorex tisti, ki želi kakovostno poslovati z našimi strankami po vsem svetu.*
Preberi večPošlji povpraševanje