Kot profesionalni proizvajalec bi vam radi ponudili polprevodniške komponente. Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
Komponente s prevleko iz SiC visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega vse od grafitnih potrošnih materialov za vroče cone za rast kristalov (grelniki, susceptorji lončkov, izolacija) do visoko natančnih grafitnih komponent za opremo za obdelavo rezin, kot so grafitni susceptorji, prevlečeni s silicijevim karbidom, za epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja grafitno konstrukcijo, prevlečeno s silicijevim karbidom (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Končni efektor →
Končni efektor je robotova roka, ki premika polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, dobavlja Semicorex, ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Chuck za brušenje polpredsednika polprevodivo je keramični disk iz bele glinice, ki je zasnovana za brušenje robov rezin v proizvodnji polprevodnikov. Izbira Semicorex zagotavlja vrhunsko kakovost materiala, natančno inženiring in zanesljive zmogljivosti, ki podpirajo najzahtevnejša okolja za obdelavo rezin.*
Preberi večPošlji povpraševanjePoročni aluminalniki Poročne alumina so mikroporna črne alumina vakuumske napeljave s 35–40% poroznostjo, zasnovana tako, da zagotavlja enakomerno sesanje in varno ravnanje z rezinami pri proizvodnji polprevodnikov. Izbira Semicorex pomeni zanesljiv keramični inženiring, vrhunsko kakovost materiala in dosledne zmogljivosti, ki varujejo donos in stabilnost.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex AL2O3 vakuumski Chucks so mikroporozna keramična adsorpcijska napeljava, narejena iz črne glinice s poroznostjo 35–40%, posebej zasnovana za ravnanje z rezinami v polprevodniških aplikacijah. Izbira polpredstanitve pomeni koristi od napredne keramične tehnologije, natančnega inženiringa in zanesljive kakovosti izdelkov, ki zagotavljajo stabilne zmogljivosti v zahtevnih čistih okoljih.*
Preberi večPošlji povpraševanjeKeramična roka Semicorex Alumina je robotska komponenta z visoko čistočo, ki je zasnovana za natančno ravnanje z režami brez kontaminacije v proizvodnji polprevodnikov. Izbira Semicorex zagotavlja ne le napredne kakovosti keramičnega materiala iz alumina, ampak tudi natančno izdelavo, ki zagotavlja vzdržljivost, čistočo in zanesljivost v kritičnih procesnih okoljih.***
Preberi večPošlji povpraševanjePolmovni vhodni obroči SIC so visokozmogljive komponente silicijevega karbida, zasnovane za opremo za predelavo polprevodnikov, ki ponujajo izjemno toplotno stabilnost, kemično odpornost in natančno obdelavo. Izbira Semicorex pomeni dostop do zanesljivih, prilagojenih in brez kontaminacijskih rešitev, ki jim zaupajo vodilni proizvajalci polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSIC SIC ARM je komponenta silicijevega karbida z visoko čistočo, zasnovana za natančno ravnanje z rezinami in pozicioniranje v proizvodnji polprevodnikov. Izbira Semicorex zagotavlja neprimerljivo zanesljivost materiala, kemično odpornost in natančno inženiring, ki podpirajo najzahtevnejše polprevodniške procese.*
Preberi večPošlji povpraševanje