Kot profesionalni proizvajalec bi vam radi ponudili polprevodniške komponente. Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
Komponente s prevleko iz SiC visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega vse od grafitnih potrošnih materialov za vroče cone za rast kristalov (grelniki, susceptorji lončkov, izolacija) do visoko natančnih grafitnih komponent za opremo za obdelavo rezin, kot so grafitni susceptorji, prevlečeni s silicijevim karbidom, za epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja grafitno konstrukcijo, prevlečeno s silicijevim karbidom (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Končni efektor →
Končni efektor je robotova roka, ki premika polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, dobavlja Semicorex, ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Procesne cevi Semicorex SiC so izdelane iz SiC keramike visoke čistosti s CVD SiC prevleko, primerne so za horizontalne peči v Semiconductor. Glede na kakovost izdelkov in poprodajnih storitev je Semicorex tisti, ki želi kakovostno poslovati z našimi strankami po vsem svetu.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex High Purity SiC Cantilever Paddle je narejen iz sintrane SiC keramike visoke čistosti, ki je strukturni del v vodoravni peči v polprevodniku. Semicorex je izkušeno podjetje za dobavo komponent SiC v industriji polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjePlanarna tarča iz monokristalnega silicija podjetja Semicorex je ključna komponenta v najsodobnejši industriji proizvodnje polprevodnikov. Izdelan iz visokokakovostnega monokristalnega silicija, ima visoko urejeno kristalno strukturo in izjemno čistost. Zaradi teh lastnosti je idealna rešitev za proizvodnjo zanesljivih, visoko zmogljivih polprevodniških filmov in optičnih filmov.
Preberi večPošlji povpraševanjeSilicijevi kasetni čolni Semicorex so specializirani nosilci, izdelani iz 99,9999999 % monokristalnega in polikristalnega silicija visoke čistosti, posebej osredotočeni na proizvodnjo polprevodnikov z visoko vsebnostjo. Če izberete Semicorex, boste imeli koristi od zanesljive kakovosti, storitev prilagajanja in povečane produktivnosti.
Preberi večPošlji povpraševanjePrilagojena porozna keramična vpenjalna glava je vrhunska rešitev za vpenjanje in pritrjevanje obdelovanca, zasnovana izključno za proizvodnjo polprevodnikov. Če izberete Semicorex, boste imeli koristi od zanesljive kakovosti, storitev prilagajanja in povečane produktivnosti.
Preberi večPošlji povpraševanjeMonokristalna silikonska tuš glava, znana kot plinska razpršilna glava ali plošča za distribucijo plina ali, je široko uporabljena naprava za distribucijo plina v proizvodnih procesih polprevodnikov za ključne procesne korake, kot so čiščenje, jedkanje in nanašanje. Visokokakovostna in stroškovno učinkovita glava za tuširanje iz enokristalnega silicija je bistvena za izboljšanje natančnosti in kakovosti izdelave čipov v industriji polprevodnikov.
Preberi večPošlji povpraševanje