Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
SiC keramične komponente visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega potrošni material za opremo za obdelavo rezin, kot so ladja za rezine iz silicijevega karbida, konzolne lopatice, cevi itd. za Epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja konstrukcijo iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Konzolno veslo →
Konzolna lopatica je ključna komponenta, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov, zlasti v difuzijskih ali LPCVD pečeh med procesi, kot sta difuzija in RTP.
Procesna cev →
Procesna cev je ključna komponenta, posebej zasnovana v različnih aplikacijah za obdelavo polprevodnikov, kot je RTP, difuzija.
Napolitanke →
Wafer Boat se uporablja pri obdelavi polprevodnikov in je bil skrbno zasnovan, da zagotovi, da so občutljive rezine varne v kritičnih fazah proizvodnje.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, ki ga dobavlja Semicorex, je res stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Semicorex ima tudi keramične izdelke iz aluminijevega oksida (Al2O3), silicijevega nitrida (Si3N4), aluminijevega nitrida (AIN), cirkonijevega oksida (ZrO2), kompozitne keramike itd.
Vroče stisnjeni lončki iz borovega nitrida so posebej zasnovani za uporabo pri ekstremnih temperaturah in so nepogrešljivi keramični vsebniki, ki služijo kot briljantne rešitve tako za postopke taljenja in izhlapevanja kovin kot za postopke rasti kristalov polprevodnikov.
Preberi večPošlji povpraševanjeZaščitne cevi za termočlene SIC so izdelane iz visokokakovostnih materialov iz silicijevega karbida in so napredne keramične rešitve, ki se uporabljajo za zaščito termočlenov pred normalnim delovanjem v zahtevnih okoljih z visoko temperaturo. Izberite Semicorex za natančno izdelane zaščitne cevi za termočlene SIC, ki zagotavljajo dosledno kakovost, stroškovno učinkovito ceno in največjo učinkovitost hlajenja.
Preberi večPošlji povpraševanjeIzdelani iz visoko zmogljive keramike iz silicijevega karbida so hladilni kanali iz silicijevega karbida zmogljive komponente cevi, ki se uporabljajo v hladilnih procesih visokotemperaturnih industrijskih peči. Izberite Semicorex za natančno izdelane hladilne kanale iz silicijevega karbida, ki zagotavljajo stalno kakovost, stroškovno učinkovito ceno in maksimalno učinkovitost hlajenja.
Preberi večPošlji povpraševanjeKarbonsko keramična zavora Semicorex je izdelana iz naprednih karbonsko keramičnih kompozitov, ki so napreden material, ki je zelo primeren za delovno okolje pri visokih temperaturah. Semicorex dobavlja izdelke po meri v skladu z aplikacijami in zahtevami strank.*
Preberi večPošlji povpraševanjePlošča za jedkanje iz silicijevega karbida ICP je nepogrešljivo držalo za rezine, izdelano iz sintrane keramike iz silicijevega karbida visoke čistosti. Posebej zasnovan pri Semicorexu služi kot ključni dejavnik za sisteme jedkanja in nanašanja z induktivno sklopljeno plazmo (ICP) v vrhunski industriji polprevodnikov.
Preberi večPošlji povpraševanjeLončki iz aluminijevega nitrida iz Semicorexa so izdelani iz polprevodniške AlN keramike, ki so visoko zmogljive reakcijske posode, ki se uporabljajo v zahtevnih visokotemperaturnih okoljih. Semicorex ponuja prilagojeno proizvodnjo v skladu z zahtevami strank, pri čemer obravnava tako velika naročila kot majhne serije prototipov.
Preberi večPošlji povpraševanje