Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
SiC keramične komponente visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega potrošni material za opremo za obdelavo rezin, kot so ladja za rezine iz silicijevega karbida, konzolne lopatice, cevi itd. za Epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja konstrukcijo iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Konzolno veslo →
Konzolna lopatica je ključna komponenta, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov, zlasti v difuzijskih ali LPCVD pečeh med procesi, kot sta difuzija in RTP.
Procesna cev →
Procesna cev je ključna komponenta, posebej zasnovana v različnih aplikacijah za obdelavo polprevodnikov, kot je RTP, difuzija.
Napolitanke →
Wafer Boat se uporablja pri obdelavi polprevodnikov in je bil skrbno zasnovan, da zagotovi, da so občutljive rezine varne v kritičnih fazah proizvodnje.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, ki ga dobavlja Semicorex, je res stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Semicorex ima tudi keramične izdelke iz aluminijevega oksida (Al2O3), silicijevega nitrida (Si3N4), aluminijevega nitrida (AIN), cirkonijevega oksida (ZrO2), kompozitne keramike itd.
Z vrhunsko trdoto, odlično odpornostjo proti obrabi, izjemno odpornostjo na visoke temperature in močno kemično stabilnostjo so tesnilni obroči SSIC postali nenadomestljiva tesnilna rešitev v sodobnih procesih obdelave. Lahko je popolnoma združljiv z zahtevnimi kompleksnimi delovnimi pogoji, kot so visoka temperatura, visok tlak in močna korozija.
Preberi večPošlji povpraševanjeKarbonsko keramični diski Semicorex so izdelani iz naprednega materiala in se uporabljajo v zavornih sistemih motorjev, vozil in letal. Karbonsko keramični diski lahko zaradi lastnosti materiala bistveno povečajo življenjsko dobo in stabilnost pri hitrem teku ter relativno povečajo varnost pri vožnji. Semicorex zagotavlja visokokakovostne ogljikove keramične diske po meri glede na potrebe strank.*
Preberi večPošlji povpraševanjePolikristalna vlaknena plošča iz aluminijevega oksida je visoko zmogljiv ognjevarni ploščni material z odlično odpornostjo na toplotne udarce, močno odpornostjo proti koroziji in vrhunsko odpornostjo proti oksidaciji. Ta ognjevzdržna zmogljivost omogoča široko uporabo v zahtevnih visokotemperaturnih okoljih, vključno z visokotemperaturnimi pečmi, visokotemperaturnimi pečmi, visokotemperaturnimi reaktorji, visokotemperaturnimi cevovodi, vrati visokotemperaturnih peči, stenami visokotemperaturnih peči. Če izberete Semicorex, boste imeli koristi od zelo stroškovno učinkovitih cen, personaliziranih individualnih storitev prilagajanja in izjemne kakovosti izdelkov.
Preberi večPošlji povpraševanjeVlaknena plošča Semicorex iz cirkonijevega oksida je optimalen lahek ognjevzdržni material iz vlaken, ki lahko dlje časa prenese visokotemperaturna oksidativna okolja nad 1500 ℃. Zanašajoč se na izjemno odpornost na visoke temperature, nizko toplotno prevodnost in izboljšano kemično stabilnost, služi kot brezhibna toplotno izolacijska rešitev za podporo proizvodnim procesom v visokotemperaturnih industrijskih sektorjih.
Preberi večPošlji povpraševanjePrilagodljive keramične šobe Semicorex, izdelane s skrbno pozornostjo do detajlov, so genialna rešitev za nadzor pretoka tako plinov kot tekočin z enakomernostjo in natančnostjo brez primere. Semicorex se veseli vašega nadaljnjega svetovanja.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Silicon Nitride Tube je izdelan iz visoko zmogljivega materiala Si3N4, zmogljivost trdnosti, trdote in toplotne prevodnosti je verodostojna. Semicorex je zavezan zagotavljanju kvalificiranih izdelkov po vsem svetu.*
Preberi večPošlji povpraševanje