Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
SiC keramične komponente visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega potrošni material za opremo za obdelavo rezin, kot so ladja za rezine iz silicijevega karbida, konzolne lopatice, cevi itd. za Epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja konstrukcijo iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Konzolno veslo →
Konzolna lopatica je ključna komponenta, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov, zlasti v difuzijskih ali LPCVD pečeh med procesi, kot sta difuzija in RTP.
Procesna cev →
Procesna cev je ključna komponenta, posebej zasnovana v različnih aplikacijah za obdelavo polprevodnikov, kot je RTP, difuzija.
Napolitanke →
Wafer Boat se uporablja pri obdelavi polprevodnikov in je bil natančno zasnovan, da zagotovi, da so občutljive rezine varne v kritičnih fazah proizvodnje.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, dobavlja Semicorex, ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Semicorex ima tudi keramične izdelke iz aluminijevega oksida (Al2O3), silicijevega nitrida (Si3N4), aluminijevega nitrida (AIN), cirkonijevega oksida (ZrO2), kompozitne keramike itd.
Semicorex SiC Wafer Boats so napredna komponenta, natančno zasnovana za proizvodnjo polprevodnikov, zlasti v difuzijskih in termičnih procesih. Z našo trdno zavezanostjo zagotavljanju vrhunskih izdelkov po konkurenčnih cenah smo pripravljeni postati vaš dolgoročni partner na Kitajskem.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Wafer Boat je kritična komponenta v procesu izdelave polprevodnikov, posebej zasnovana za uporabo v difuzijskem procesu, kjer ima ključno vlogo pri ustvarjanju visoko integriranih vezij. Z našo trdno zavezanostjo zagotavljanju vrhunskih izdelkov po konkurenčnih cenah smo pripravljeni postati vaš dolgoročni partner na Kitajskem.*
Preberi večPošlji povpraševanjeKeramična elektrostatična vpenjalna glava Semicorex (ESC) je specializirano orodje, ki je natančno izdelano za izpolnjevanje strogih zahtev proizvodnje polprevodnikov. Z našo trdno zavezanostjo zagotavljanju vrhunskih izdelkov po konkurenčnih cenah smo pripravljeni postati vaš dolgoročni partner na Kitajskem.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Electrostatic Chuck (ESC) je napredna komponenta, ki se uporablja v proizvodnji polprevodnikov in je zasnovana za varno držanje polprevodniških rezin med različnimi stopnjami obdelave. Z našo predanostjo zagotavljanju izdelkov vrhunske kakovosti po konkurenčnih cenah smo pripravljeni, da postanemo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Silicon Carbide Wafer Chuck je bistvena komponenta v postopku epitaksije polprevodnikov. Služi kot vakuumska vpenjalna glava za varno držanje rezin v kritičnih fazah izdelave. Zavezani smo k zagotavljanju izdelkov vrhunske kakovosti po konkurenčnih cenah, s čimer se postavljamo kot vaš dolgoročni partner na Kitajskem.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Ceramic Chuck je visoko specializirana komponenta, zasnovana za uporabo v polprevodniških epitaksialnih procesih, kjer je njegova vloga vakuumske vpenjalne glave ključna. Z našo predanostjo zagotavljanju izdelkov vrhunske kakovosti po konkurenčnih cenah smo pripravljeni, da postanemo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.*
Preberi večPošlji povpraševanje