Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
SiC keramične komponente visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega potrošni material za opremo za obdelavo rezin, kot so ladja za rezine iz silicijevega karbida, konzolne lopatice, cevi itd. za Epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja konstrukcijo iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Konzolno veslo →
Konzolna lopatica je ključna komponenta, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov, zlasti v difuzijskih ali LPCVD pečeh med procesi, kot sta difuzija in RTP.
Procesna cev →
Procesna cev je ključna komponenta, posebej zasnovana v različnih aplikacijah za obdelavo polprevodnikov, kot je RTP, difuzija.
Napolitanke →
Wafer Boat se uporablja pri obdelavi polprevodnikov in je bil natančno zasnovan, da zagotovi, da so občutljive rezine varne v kritičnih fazah proizvodnje.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, dobavlja Semicorex, ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Semicorex ima tudi keramične izdelke iz aluminijevega oksida (Al2O3), silicijevega nitrida (Si3N4), aluminijevega nitrida (AIN), cirkonijevega oksida (ZrO2), kompozitne keramike itd.
Plošča Semicorex SiC ICP je napredna polprevodniška komponenta, posebej zasnovana za izpolnjevanje strogih zahtev sodobnih proizvodnih procesov polprevodnikov. Ta visoko zmogljiv izdelek je zasnovan z najnovejšo tehnologijo materialov iz silicijevega karbida (SiC), ki ponuja neprimerljivo vzdržljivost, učinkovitost in zanesljivost, zaradi česar je bistvena komponenta pri izdelavi najsodobnejših polprevodniških naprav. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem*.
Preberi večPošlji povpraševanjePlošča za jedkanje Semicorex SiC ICP je napredna in nepogrešljiva komponenta v industriji polprevodnikov, zasnovana za izboljšanje natančnosti in učinkovitosti postopkov jedkanja. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem*.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Alumina End Effector se je izkazal kot nepogrešljivo orodje v zahtevnem področju proizvodnje polprevodnikov, kjer lahko celo mikroskopske nepopolnosti ogrozijo delovanje naprave, vloge natančnega ravnanja z rezinami pa ni mogoče preceniti. Končni efektor iz aluminijevega oksida zagotavlja edinstveno kombinacijo natančnosti, čistosti in vzdržljivosti, ki je bistvenega pomena za manipulacijo občutljivih silicijevih rezin v različnih postopkih izdelave.**
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Custom SiC Cantilever Paddle je postal nepogrešljiva komponenta v fotonapetostni industriji, ki igra ključno vlogo pri učinkovitem in natančnem ravnanju s silicijevimi rezinami med procesi visokotemperaturne difuzije. Custom SiC Cantilever Paddle, natančno izdelan iz visoko zmogljive keramike iz silicijevega karbida (SiC), ponuja edinstveno mešanico lastnosti, bistvenih za ohranjanje celovitosti rezin, zagotavljanje enotnosti procesa in maksimiranje produktivnosti v zahtevnih okoljih difuzijskih peči.**
Preberi večPošlji povpraševanjeLežaj Semicorex SiC s svojo izjemno trdoto, močjo in kemično inertnostjo se je izkazal kot temeljni material za inženirske zahtevne aplikacije v različnih panogah. Ko je izdelan v ležajih, SiC odklene novo raven zmogljivosti in zanesljivosti, zlasti v okoljih, za katere so značilne ekstremne temperature, korozivne snovi in stroge zahteve glede čistosti. Pri Semicorexu smo predani izdelavi in dobavi visokozmogljivih ležajev iz SiC, ki združujejo kakovost s stroškovno učinkovitostjo.**
Preberi večPošlji povpraševanjeTesnilni obroč iz silicijevega karbida Semicorex se je pojavil kot kritična tehnologija za omogočanje v industriji polprevodnikov, ki ponuja neprimerljivo zmogljivost in zanesljivost v vedno bolj zahtevnih procesnih pogojih. Njihova edinstvena kombinacija lastnosti materiala je idealna za široko paleto aplikacij, kar zagotavlja optimalen čas delovanja opreme, podaljšan življenjski cikel komponent in na koncu nižje skupne stroške lastništva. V podjetju Semicorex smo predani izdelavi in dobavi visoko zmogljivih tesnilnih obročev iz silicijevega karbida ki združuje kakovost s stroškovno učinkovitostjo.**
Preberi večPošlji povpraševanje