Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
SiC keramične komponente visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega potrošni material za opremo za obdelavo rezin, kot so ladja za rezine iz silicijevega karbida, konzolne lopatice, cevi itd. za Epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja konstrukcijo iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Konzolno veslo →
Konzolna lopatica je ključna komponenta, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov, zlasti v difuzijskih ali LPCVD pečeh med procesi, kot sta difuzija in RTP.
Procesna cev →
Procesna cev je ključna komponenta, posebej zasnovana v različnih aplikacijah za obdelavo polprevodnikov, kot je RTP, difuzija.
Napolitanke →
Wafer Boat se uporablja pri obdelavi polprevodnikov in je bil skrbno zasnovan, da zagotovi, da so občutljive rezine varne v kritičnih fazah proizvodnje.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, ki ga dobavlja Semicorex, je res stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Semicorex ima tudi keramične izdelke iz aluminijevega oksida (Al2O3), silicijevega nitrida (Si3N4), aluminijevega nitrida (AIN), cirkonijevega oksida (ZrO2), kompozitne keramike itd.
Semicorex Silicon Carbide Boat je visoko zmogljiva komponenta, zasnovana za uporabo v procesih polprevodniške difuzije, ki ponuja izjemno toplotno stabilnost, odpornost proti obrabi in kemično vzdržljivost. Izberite Semicorex zaradi njegovih naprednih proizvodnih zmogljivosti, ki zagotavljajo zanesljive, visokokakovostne izdelke, ki zagotavljajo optimalno delovanje v zahtevnih polprevodniških in industrijskih aplikacijah.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex daje prednost kakovosti in zmogljivosti ter zagotavlja, da vsako SiC tesnilo ustreza strogim industrijskim standardom. Naši najsodobnejši proizvodni procesi zagotavljajo, da naši izdelki zagotavljajo dosledne in zanesljive rezultate, s čimer Semicorex postavljajo kot vodilnega na področju napredne keramike.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC brusni mediji so izdelani iz keramike iz silicijevega karbida, materiala, ki slovi po svoji izjemni trdoti in vzdržljivosti. Zasnovan za izpolnjevanje strogih zahtev različnih industrijskih aplikacij, SiC brusni mediji ponujajo neprimerljivo učinkovitost in dolgo življenjsko dobo.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex 6 Inch SiC Boat je visoko zmogljiv nosilec rezin iz silicijevega karbida, zasnovan za uporabo v visokotemperaturnih polprevodniških procesih, kot sta oksidacija in difuzija. Semicorex zagotavlja izdelke vrhunske kakovosti z izjemno toplotno stabilnostjo, odlično kemično odpornostjo in zavezanostjo k zanesljivemu, dolgotrajnemu delovanju v zahtevnih polprevodniških aplikacijah.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Vertical Silicon Boat je kritična komponenta, ki se uporablja v proizvodnih procesih polprevodnikov. Semicorex zagotavlja prilagojen navpični Silicon Boat z neprimerljivo kakovostjo in natančnostjo, prilagojeno strogim zahtevam industrije polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjeTesnilni obroč Si3N4 podjetja Semicorex predstavlja pomemben napredek v keramičnem inženiringu, izdelan iz Si3N4, izjemnega anorganskega materiala. Ta keramika je znana po svoji edinstveni lastnosti, da se med procesom sintranja ne krči, kar zagotavlja dimenzijsko stabilnost in konsistenco.
Preberi večPošlji povpraševanje