Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
SiC keramične komponente visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega potrošni material za opremo za obdelavo rezin, kot so ladja za rezine iz silicijevega karbida, konzolne lopatice, cevi itd. za Epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja konstrukcijo iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Konzolno veslo →
Konzolna lopatica je ključna komponenta, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov, zlasti v difuzijskih ali LPCVD pečeh med procesi, kot sta difuzija in RTP.
Procesna cev →
Procesna cev je ključna komponenta, posebej zasnovana v različnih aplikacijah za obdelavo polprevodnikov, kot je RTP, difuzija.
Napolitanke →
Wafer Boat se uporablja pri obdelavi polprevodnikov in je bil natančno zasnovan, da zagotovi, da so občutljive rezine varne v kritičnih fazah proizvodnje.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, dobavlja Semicorex, ki je resnično stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Semicorex ima tudi keramične izdelke iz aluminijevega oksida (Al2O3), silicijevega nitrida (Si3N4), aluminijevega nitrida (AIN), cirkonijevega oksida (ZrO2), kompozitne keramike itd.
Plošča za jedkanje Semicorex ICP je napredna, visoko zmogljiva komponenta, posebej zasnovana za uporabo v polprevodnikih, izdelana iz materiala silicijev karbid (SiC). Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem*.
Preberi večPošlji povpraševanjeReflektor Semicorex SiC je osrednji element v različnih procesih izdelave polprevodnikov. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem*.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC keramične plošče za prenos toplote, ki temeljijo na SiC kot primarnem materialu, so podvržene visokotemperaturnemu sintranju pri 2250 °C, kar ima za posledico visoko vitrificirano, gosto keramično telo brez poroznosti z vsebnostjo SiC ≥99,3 %. Ker ima ta keramika upogibno trdnost ≥410 MPa in toplotno prevodnost 140 W/m.k, je ta keramika edini material, ki lahko prenese korozijo zaradi močnih kislin, kot sta fluorovodikova kislina (HF) in žveplova kislina (H2SO4) v industriji polprevodnikov. V podjetju Semicorex smo predani izdelavi in dobavi visoko zmogljivih SiC keramičnih plošč za prenos toplote, ki združujejo kakovost s stroškovno učinkovitostjo. **
Preberi večPošlji povpraševanjeKeramični strukturni deli iz silicijevega karbida Semicorex, pridobljeni iz zrn silicijevega karbida, povezanih skupaj s sintranjem, se široko uporabljajo v avtomobilski, mehanski, kemični, polprevodniški, vesoljski tehnologiji, mikroelektroniki in energetskih sektorjih ter izpolnjujejo ključne vloge v različnih aplikacijah v teh panogah. Keramični strukturni deli iz silicijevega karbida so zaradi svojih izjemnih lastnosti postali idealen material za težke pogoje, za katere so značilni visoke temperature, visoki pritiski, korozija in obraba, ter zagotavljajo zanesljivo delovanje in dolgo življenjsko dobo v zahtevnih delovnih okoljih.**
Preberi večPošlji povpraševanjeKeramične prirobnice iz aluminijevega oksida so izdelane komponente, ki ponujajo znatne prednosti, zlasti v nastavitvah, kjer so toplotna stabilnost, upoštevanje teže in odpornost proti koroziji najpomembnejši. Te prirobnice niso samo trpežne in zanesljive, ampak tudi prispevajo k splošni učinkovitosti in stroškovni učinkovitosti sistemov, v katerih so uporabljene. Zaradi njihovih edinstvenih lastnosti so odlična izbira za napredne inženirske rešitve v različnih industrijskih sektorjih. Pri Semicorexu smo predani izdelavi in dobavi visoko zmogljivih keramičnih prirobnic iz aluminijevega oksida, ki združujejo kakovost s stroškovno učinkovitostjo.**
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Alumina Vacuum Chuck je natančna držalna naprava, zasnovana za napredne proizvodne in raziskovalne aplikacije. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem*.
Preberi večPošlji povpraševanje