Semicorex je vaš partner za izboljšanje obdelave polprevodnikov. Naše prevleke iz silicijevega karbida so goste, odporne na visoke temperature in kemikalije, ki se pogosto uporabljajo v celotnem ciklu proizvodnje polprevodnikov, vključno s polprevodniškimi rezinami in obdelavo rezin ter izdelavo polprevodnikov.
SiC keramične komponente visoke čistosti so ključne za procese v polprevodnikih. Naša ponudba obsega potrošni material za opremo za obdelavo rezin, kot so ladja za rezine iz silicijevega karbida, konzolne lopatice, cevi itd. za Epitaksijo ali MOCVD.
Prednosti za polprevodniške procese
Faze nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali obdelava rezin, kot je jedkanje ali ionski implantat, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja konstrukcijo iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost in trajno kemično odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost.
Pokrovi komor →
Pokrovi komor, ki se uporabljajo pri obdelavi rasti kristalov in ravnanja z rezinami, morajo prenesti visoke temperature in ostro kemično čiščenje.
Konzolno veslo →
Konzolna lopatica je ključna komponenta, ki se uporablja v procesih izdelave polprevodnikov, zlasti v difuzijskih ali LPCVD pečeh med procesi, kot sta difuzija in RTP.
Procesna cev →
Procesna cev je ključna komponenta, posebej zasnovana v različnih aplikacijah za obdelavo polprevodnikov, kot je RTP, difuzija.
Napolitanke →
Wafer Boat se uporablja pri obdelavi polprevodnikov in je bil skrbno zasnovan, da zagotovi, da so občutljive rezine varne v kritičnih fazah proizvodnje.
Dovodni obroči →
Dovodni obroč za plin, prevlečen s SiC, z opremo MOCVD Rast spojine ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, kar ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Obroč za ostrenje →
Obroč za fokusiranje, prevlečen s silicijevim karbidom, ki ga dobavlja Semicorex, je res stabilen za RTA, RTP ali grobo kemično čiščenje.
Držalo za rezine →
Semicorex ultra-ploske keramične vakuumske vpenjalne glave za rezine so prevlečene s SiC visoke čistosti, ki se uporabljajo v procesu ravnanja z rezinami.
Semicorex ima tudi keramične izdelke iz aluminijevega oksida (Al2O3), silicijevega nitrida (Si3N4), aluminijevega nitrida (AIN), cirkonijevega oksida (ZrO2), kompozitne keramike itd.
Posemikalne vesla za konzole SIC so visokozmogljive konzolne vesla iz silicijevega karbida, ki se uporabljajo v opremi za polprevodniško toplotno obdelavo, zasnovane za stabilno ravnanje z rezinami v visokotemperaturnih okoljih. Izbira polpredstanitve pomeni izbiro materialov z visoko čistoči, odlično toplotno stabilnost in vodilno tehnologijo natančnosti v industriji, da se zagotovi, da je vsak vaš kritični postopek stabilen in zanesljiv.***
Preberi večPošlji povpraševanjeNosilci polprevodnic SIC so bistvene konstrukcijske sestavne dele, ki zagotavljajo natančno in zanesljivo namestitev rezin pri polprevodniški toplotni obdelavi. Izberite Semicorex za neprimerljivo kakovost, tehnično znanje in zavezanost k napredku rešitev SIC v visoki čistosti v proizvodnji polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjePolkovne rezine so natančno opremljeni keramični nosilci, zasnovani za visokotemperaturno predelavo rezin pri proizvodnji polprevodnikov. Izberite Semicorex za svojo neprimerljivo čistost materiala, napredno tehnologijo izdelave in zavezanost kakovosti, ki zagotavlja dosledno delovanje v najzahtevnejših okoljih čistega prostora.*
Preberi večPošlji povpraševanjeV polprevodniškem visokotemperaturnemu procesu so polprevodniške visokotemperaturne cevi, ki so zasnovane na polprevodniškem visokotemperaturnemu cevi, z odlično toplotno stabilnostjo in kemično korozijsko odpornostjo. Izbira polprevodniških surovin, natančnih proizvodnih procesov in dolgoročne zanesljivosti zagotavljajo trdno podporo za vaš postopek izdelave polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjePolmične zavore CCB (ogljikove-keramične zavore s prevlečenim trenjem) predstavljajo naslednjo generacijo visokozmogljivih zavornih rešitev, ki so bile v najzahtevnejših pogojih zasnovane za izjemno trajnost, toplotno stabilnost in dosledno zaviranje. Izberite Semicorex za njegovo strokovno znanje na področju naprednih keramičnih kompozitov in natančno-inženirnih tehnologij.*
Preberi večPošlji povpraševanjeZavore za polpredsednik CCM, narejene iz naprednih ogljikovih keramičnih matričnih materialov, so idealna rešitev za visokozmogljivo zaviranje v ekstremnih vozniških okoljih. Izberite Semicorex za naše neprimerljivo strokovno znanje na področju keramičnega kompozitnega inženiringa, natančnosti in zavezanosti za zagotavljanje dosledne kakovosti, ki je dokazana rasa.*
Preberi večPošlji povpraševanje