Kasetni čolni iz silicijevega karbida

Semicorexkasetni čolni iz silicijevega karbidaso nepogrešljive nosilne komponente, ki s svojo stabilno in visoko trdno strukturo varno in natančno varno držijo, prenašajo in ravnajo z več polprevodniškimi rezinami. Široko se uporabljajo v različnih visokotemperaturnih polprevodniških postopkih, da zagotovijo optimizirano porazdelitev toplote in pretoka plina za dosledne rezultate obdelave.

Skrbno izbrana surovina

Natančno izdelani iz polprevodniškega prahu silicijevega karbida z visokotemperaturnim sintranjem, kasetni čolni Semicorex iz silicijevega karbida imajo naslednje odlične lastnosti.

1. Ultra-visoka čistost:Vsebnost nečistoč v substratu je nadzorovana tako, da je pod 100 PPM, raven nečistočCVD silicijev karbidpremaz lahko doseže manj kot 1 PPM.

2. Zanesljiva odpornost proti koroziji:Keramika iz silicijevega karbida zagotavlja močno odpornost proti koroziji in je odporna proti koroziji zaradi večine kislin (kot so klorovodikova kislina, žveplova kislina in fluorovodikova kislina), alkalij (kot je kavstična soda), topil in oksidacijskih medijev.

3. Izjemna zmogljivost upravljanja toplote:Z izjemno toplotno odpornostjo in nizkim koeficientom toplotnega raztezanja lahko kasetni čolni iz silicijevega karbida ohranijo svoje kemične lastnosti in mehansko trdnost, tudi če so izpostavljeni dolgotrajnim pogojem delovanja pri visoki temperaturi okoli 1250 °C.

Natančno izdelana struktura

1. Vodoravna struktura okvirja:Zaradi vodoravne strukture okvirja kasetnih čolnov Semicorex iz silicijevega karbida se popolnoma prilegajo vodoravnim visokotemperaturnim pečnim cevem.

2. Enakomerno razporejene zareze:S številnimi enakomerno razporejenimi zarezami lahko kasetni čolni Semicorex iz silicijevega karbida trdno držijo rezino na mestu, kar lahko znatno prepreči neželene praske, odrgnine in poškodbe, ki so posledica premika rezine, s čimer učinkovito zagotavlja stabilnost polprevodniškega procesa in izkoristek rezine.

3. Zasnova z več režami:Več rež, zasnovanih za prenašanje več rezin, omogoča Semicorexovim kasetnim čolnom iz silicijevega karbida, da izboljšajo prepustnost obdelave v eni seriji in splošno učinkovitost proizvodnje.

4. Odprta arhitektura:Kasetni čolni iz silicijevega karbida Semicorex so opremljeni s premišljeno odprto arhitekturo, ki lahko pomaga doseči enakomerno porazdelitev plina in zadosten reakcijski stik, kar tako učinkovito zmanjša nedosledne rezultate postopka.