Keramični končni efektor

Semicorex je vaš partner za napredne grafitne komponente in sklope, ki podpirajo večjo prepustnost in boljše donose v vaši opremi za obdelavo polprevodnikov. Naši strokovnjaki za materiale so pripravljeni sodelovati z vami pri razvoju optimalne prave rešitve za vaše zahteve glede ravnanja z rezinami, segrevanja in obdelave. Naš keramični končni efektor ima dobro cenovno ugodnost in pokriva številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Ceramic End Effector je robotova roka, ki premika polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih. Končni efektor mora biti dimenzijsko natančen in toplotno stabilen, hkrati pa mora imeti gladko površino, odporno proti obrabi, za varno rokovanje z rezinami, ne da bi pri tem poškodovali naprave ali povzročili kontaminacijo z delci. Naš keramični končni efektor iz silicijevega karbida visoke čistosti zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost ter trajno kemično odpornost.

Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnega in stroškovno učinkovitega keramičnega končnega efektorja, dajemo prednost zadovoljstvu strank in zagotavljamo stroškovno učinkovite rešitve. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner, ki bo zagotavljal visokokakovostne izdelke in izjemne storitve za stranke.

Parametri keramičnega končnega efektorja

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300