Hitro termično žarjenje (skrajšano RTA ali RTP) je tehnologija hitre toplotne obdelave v proizvodnji polprevodnikov. Njegovo osrednje načelo je hitro segrevanje površine rezine z uporabo visokointenzivnega sevalnega vira toplote (kot so halogenske žarnice, laserji, bliskavice itd.), pri čemer se rez......
Preberi večIndustrija polprevodnikov tretje generacije se hitro širi. Postopki epitaksije silicijevega karbida (SiC) in galijevega nitrida (GaN) se nenehno razvijajo v smeri visokotemperaturnih delovnih okolij, surovin ultra visoke čistosti in miniaturiziranih naprav s čipi. Kljub temu običajni neprevlečeni gr......
Preberi večPri proizvodnji polprevodnikov oksidacija vključuje postavitev rezine v okolje z visoko temperaturo, kjer kisik teče po površini rezine in tvori oksidno plast. To ščiti rezino pred kemičnimi nečistočami, preprečuje vstop toka uhajanja v vezje, preprečuje difuzijo med ionsko implantacijo in preprečuj......
Preberi večSemicorex zagotavlja napredne grafitne rezinke, prevlečene s TaC, zasnovane za zahtevne polprevodniške procese, ki zahtevajo odlično toplotno stabilnost, kemično odpornost in natančno zmogljivost podpore rezin. Ker proizvajalci polprevodnikov nadaljujejo z razvojem naprav naslednje generacije, te n......
Preberi večFokusni obroči so natančni obročasti deli, običajno nameščeni okoli vpenjalne glave rezin opreme za plazemsko jedkanje in so med postopkom jedkanja neposredno izpostavljeni visokoenergijski plazmi. Njihova glavna funkcija je, da delujejo kot žrtveni deli za zagotovitev enakomernih rezultatov jedkanj......
Preberi večStabilnost in natančnost tehnologije držanja rezin kot nepogrešljive ključne povezave v proizvodnji polprevodnikov neposredno vplivata na učinkovitost proizvodnje čipov in kakovost končne naprave. Vakuumske in elektrostatične vpenjalne glave sta glavni rešitvi za držanje rezin za proizvodnjo polprev......
Preberi več