Suho jedkanje je glavna tehnologija v proizvodnih procesih mikro-elektromehanskih sistemov. Zmogljivost postopka suhega jedkanja neposredno vpliva na strukturno natančnost in operativno zmogljivost polprevodniških naprav. Za natančen nadzor postopka jedkanja je treba posebno pozornost posvetiti nasl......
Preberi večAerostatična drsna steza iz silicijevega karbida je napreden sistem vodil, ki združuje materialne lastnosti silicijevega karbida in aerostatične tehnologije. Kot optimalna rešitev za visokonatančne, visoko zanesljive in dolgoročne sisteme gibanja se aerostatična drsna tirnica iz silicijevega karbida......
Preberi večGlavna metoda za pripravo monokristalov silicijevega karbida je metoda fizikalnega prenosa pare (PVT). Ta metoda je v glavnem sestavljena iz votline iz kremenčeve cevi, grelnega elementa (indukcijske tuljave ali grafitnega grelnika), izolacijskega materiala iz grafitne ogljikove klobučevine, grafitn......
Preberi večSOI, okrajšava za Silicon-On-Insulator, je postopek izdelave polprevodnikov, ki temelji na posebnih substratnih materialih. Od svoje industrializacije v osemdesetih letih prejšnjega stoletja je ta tehnologija postala pomembna veja naprednih proizvodnih procesov polprevodnikov. Postopek SOI, ki ga o......
Preberi večElektrostatična vpenjalna glava opravlja več funkcij, kot so enakomerna elektrostatična razelektritev, toplotna prevodnost ter adsorpcija in fiksacija rezin na področju proizvodnje polprevodnikov. Ena od osrednjih funkcij ESC je stabilna adsorpcija rezin v ekstremnih pogojih delovanja, kot so visok ......
Preberi več