Končni efektor je robotova roka, ki premika polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih. Končni efektor mora biti dimenzijsko natančen in toplotno stabilen, hkrati pa mora imeti gladko površino, odporno proti obrabi, za varno rokovanje z rezinami, ne da bi pri tem poškodovali naprave ali povzročili kontaminacijo z delci.
Komponente prevleke iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti Semicorex zagotavljajo vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost ter trajno kemično odpornost.