Končni efektor je robotova roka, ki premika polprevodniške rezine med položaji v opremi za obdelavo rezin in nosilcih. Končni efektor mora biti dimenzijsko natančen in toplotno stabilen, hkrati pa mora imeti gladko površino, odporno proti obrabi, za varno rokovanje z rezinami, ne da bi pri tem poškodovali naprave ali povzročili kontaminacijo z delci.
Komponente prevleke iz silicijevega karbida (SiC) visoke čistosti Semicorex zagotavljajo vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost ter trajno kemično odpornost.
Keramična roka Semicorex Alumina je robotska komponenta z visoko čistočo, ki je zasnovana za natančno ravnanje z režami brez kontaminacije v proizvodnji polprevodnikov. Izbira Semicorex zagotavlja ne le napredne kakovosti keramičnega materiala iz alumina, ampak tudi natančno izdelavo, ki zagotavlja vzdržljivost, čistočo in zanesljivost v kritičnih procesnih okoljih.***
Preberi večPošlji povpraševanjeSIC SIC ARM je komponenta silicijevega karbida z visoko čistočo, zasnovana za natančno ravnanje z rezinami in pozicioniranje v proizvodnji polprevodnikov. Izbira Semicorex zagotavlja neprimerljivo zanesljivost materiala, kemično odpornost in natančno inženiring, ki podpirajo najzahtevnejše polprevodniške procese.*
Preberi večPošlji povpraševanjePolmonski sic prsti so natančno opremljene komponente, narejene iz silicijevega karbida z visoko čistostjo, zasnovanih za delovanje pod izjemnimi zahtevami iz proizvodnje polprevodnikov. Izbira Semicorex pomeni dostop do naprednega strokovnega znanja o materialu, obdelave z visoko natančnostjo in zanesljive rešitve, ki jim zaupajo kritični aplikaciji za ravnanje z rezinami.*
Preberi večPošlji povpraševanje