Sic roka

SIC SIC ARM je specializirana naprava, ki je bila razvita za ravnanje s rezinami z največjo zanesljivostjo in natančnostjo. Roke za prenos rezin, tako kot SIC, se pojavljajo v napredni opremi za proizvodnjo polprevodnikov, kot so epitaksialni reaktorji, ionski implantacijski sistemi, toplotna obdelava itd. Roki za prenos rezin so sestavni del natančnega gibanja rezin v zapletenih rezinah, da se zagotovi varen in natančen prenos obdelanih voščilnic. Izdelana z visoko čistostjoSilicijev karbidv kombinaciji z lastnostmi surovin 

Izjemna toplotna in kemična stabilnost ter odličen nadzor obdelave naredita SIC roko zaupanja vredna rešitev za prihodnjo proizvodnjo polprevodnikov.

Sic ARM ima izjemno zmogljivost v ekstremnih toplotnih okoljih. Pri epitaksialni rasti in drugih visokotemperaturnih procesih je mogoče komponente ravnanja z rezinami podvrženo trajni vročini, ki zlahka poslabša značilnosti običajnega materiala. Silicijev karbid ohranja tako trdnost kot dimenzijsko natančnost (končne dimenzijske tolerance) pri visokih temperaturah, kar zagotavlja, da lahko rezine ostanejo natančno sedeče med prenosom ali predelavo in praktično odpravljajo neskladje rezin, Warpage ali kontaminacijo. Keramika z izjemno zmogljivostjo izdelka SIC; Tako kot sic roka ne oksidira, izkrivljajo kot kovina, niti nimajo lastnosti zmogljivosti, kot je keramika, ki so stresne razpoke.

Kemična odpornost je še ena opredelitev lastnosti roke sic. V polprevodniških okoljih so pogosti korozivni plini, reaktivne kemikalije in izpostavljenost v plazmi. Ročna roka, ki se v takšnih pogojih poslabša, ne samo tvega mehanske okvare, ampak tudi kontaminacijo rezin.Silicijev karbidzagotavlja kemično inertno površino, ki zdrži te agresivne pogoje. Rezultat je zelo zanesljiva komponenta, ki ohranja površinsko celovitost in čistočo, pri čemer varuje rezine od nečistoč, ki bi lahko ogrozile delovanje naprave. Ta trajnost znatno zmanjša izpad opreme, zniža nadomestno frekvenco in poveča konsistenco procesa.

SIC ARM poleg svoje materialne odpornosti izpolnjuje tudi visoko stopnjo natančnosti obdelave. Ravnanje z rezinami zahteva natančnost mikrometra; Tolerance, ki so celo nekoliko izven specifikacije, lahko povzročijo spremembe geometrije ali površinskega zaključka, kar lahko povzroči večja tveganja pri lomljenju rezin ali neusklajenosti rezin. Z uporabo sodobnih proizvodnih tehnologij se SIC roke proizvajajo s pravilnimi tolerancami, plodnostjo in gladkimi površinami. Biti aplikacije z visoko natančnostjo so idealne za zagotavljanje doslednega pozicioniranja rezin in ponovljivih zmogljivosti med tisoči ciklov ravnanja, kar je idealno za proizvodnjo polprevodnikov z veliko količino, ki ima zahtevne specifikacije.

Vsestranskost je še ena prednost sic roke. Različna polprevodniška orodja in procesi zahtevajo roke različnih geometrij, velikosti in modelov. Ker lahko SIC roke spremenite tako, da vključijo te posebne zasnove, se lahko zlahka prilegajo v širok spekter sistemov, pa naj bo to orodje za epitaksi, kos ionske implantacijske opreme ali reaktor toplotne procese. Površinske zaključke, konstrukcijske zasnove in zaključke je mogoče spremeniti in oblikovati tako, da zagotovite najboljše zmogljivosti glede na določeno aplikacijo.

SIC Arms ima tudi operativno učinkovitost. SIC -jeva visoka trajnost in zanesljivost srednje zamenjave so redki, izpad pa je zmanjšanje; Oba pomeni nižje stroške dolgoročnega vzdrževanja. Za proizvodnjo polprevodniških fab to pomeni uresničevanje boljšega pretoka, potencial za večjo stabilnost v proizvodnji in večje donose naprav.

SIC roke so od njihove uvedbe v polprevodniški skupnosti posebej v sistemih za prenos rezin, kjer morajo prenesti mehanske napetosti, in zelo stroge pogoje obdelave. Naj gre za premikanje rezin v reaktorje epitaksije, jih držijo na mestu med ionsko implantacijo ali jih prenašajo skozi plinsko ali toplotno predelavo, SIC ARM zagotavlja varno, natančno, natančno in brez kontaminacije. Zanesljivost je razvidna z uvedbo rok sic v sodobni portfelj opreme za polprevodniške opreme.

SECOREX SIC ARM je uspešna kombinacija zaželenih lastnosti naprednihSilicijev karbidni material, natančno inženiring in visokotemperaturna stabilnost. Kombinacija kemične stabilnosti, zmožnost obdelave in natančnosti izdelave naredijo SIC, primerna za zagotavljanje zanesljivega ravnanja z rezinami v najtežjih polprevodniških procesih. SIC ARM je prilagodljiva in trajna za končne uporabnike potrošnih ugodnosti za pomoč pri ravnanju z rezinami in nudi ugodnosti pri dolgoročnih delovnih uspešnosti glede na učinkovitost, donos in stabilnost procesa. Proizvajalci, ki iščejo sodobne in vrhunske sisteme za ravnanje z rezinami ali celo zunaj rešitev za ravnanje z rezinami, se zavzemajo za roko in se za napredne zahteve polprevodniške industrije zanašajo na roko sic kot dokazano, visoko uspešen in sposobni sistem za prenos in ravnanje z rezinami.