Alumina keramična roka

Keramična roka Semicorex Alumina je oblikovana komponenta, ki je razvita po najvišjih specifikacijah za polprevodniške aplikacije. Izdelana iz glinice z visoko čistostjo (Al₂o₃) je robotska roka, ki ima edinstveno kombinacijo mehanske trdnosti, toplotne stabilnosti in kemične odpornosti. Roka ni zasnovana samo za samo za ravnanje z rezinami, ampak mora zagotoviti tudi podporo procesov na naprednih mestih izdelave. Prav tako mora zagotoviti, da se rezine prenašajo, postavljajo in obdelujejo brez kontaminacije ali škode; izboljšanje donosa in zanesljivosti postopka.

Aluminaje ena izmed tehničnih keramik, ki najde najširšo uporabo na tehničnem keramičnem področju. Alumina je znana po svoji trdoti, odpornosti proti obrabi in stabilnosti v agresivnih okoljih. Da bi cilji keramične roke upravljali z ravnanjem z režami, ne da bi uvedli kontaminacijo, lahko izkoristi lastnosti glinice in doseže veliko višjo stopnjo odpornosti proti odrgni kot posledica njegove visoke čistosti in velikosti delcev; Zato med večkratnimi gibi ne bo ustvaril prekomernih delcev bodisi s rezinami bodisi s polprevodniškimi podlagami katere koli druge vrste.  Gostota in nizka poroznost, ki jo gosti tudi, še naprej omejujeta potencial, da se delci sprostijo, in zagotavlja, da izpolnjuje ultra-čiste potrebe za razvoj polprevodnikov, ne da bi odvrnili čistočo, ki je potrebna za ravnanje s submikronskimi napravami.

Aluminaima poleg mehanske trdnosti izjemno toplotno stabilnost. Alumina keramična roka lahko zdrži ekstremne procesne temperature brez upogibanja, razpokanja ali izgube moči. Ta lastnost je idealna za vključitev v kateri koli procesni korak, ki vključuje izpostavljenost povišanim temperaturam, kot so difuzija, oksidacija ali žarenja. Reši bodo izboljšali zanesljivost prenosa v zahtevnem procesnem okolju, saj ohranja mehansko celovitost pri termičnem kolesarjenju.

Kemična odpornost je še ena temeljna pozitivna pozitivna keramična roka alumina. Pri proizvodnji polprevodnikov se obdelava pogosto izvaja na rezine, ki vključujejo močne kisline, alkalije in druge agresivne kemikalije. Medtem ko lahko kovinske komponente korodirajo ali izpuščajo nečistoče, je glinica kemično inertna, kar ščiti celovitost roke in rezine, ki jo obravnava. Zato inertnost podaljša življenjsko dobo komponente, hkrati pa zmanjšuje možnost kontaminacije med kritičnimi koraki procesa, kot sta mokro čiščenje ali kemično odlaganje hlapov.

Alumina keramična roka je zasnovana s poudarkom na združljivosti in natančnosti. Vsaka roka je narejena tako, da tesne dimenzijske tolerance zagotavlja natančno poravnavo in gibanje in združljivost z avtomatizirano opremo za ravnanje z rezinami in robotskimi sistemi. Gladka, polirana površinska obdelava ima vmesnik z nizkim trenjem z rezino, ki zmanjšuje možnost praskanja rezin, kar je bistvenega pomena za celovitost rezin/okoljsko čistost in zmanjšanje hitrosti napake. Ta inženirska toleranca zagotavljajo, da roka prosto deluje v hitrem okolju z visokim pretokom in omogoča tako človeške kot popolnoma avtomatizirane polprevodniške delovne tokove za roko.

Alumina keramična roka doseže le kemijske in mehanske zmogljivosti ter vpliva na učinkovitost delovanja in prihranke stroškov na več ravneh. Dokazano trajno naravo keramike omogoča, da roki presegajo kompozitne materiale, kot sta plastika ali aluminij, glede na dolgo življenjsko dobo pod ponavljajočo se mehansko obremenitev in s tem zmanjša količino vpletenih operativnih stroškov izpadov in/ali zamenjave. Sposobnost zdržati ostro okolje vključuje okoljsko čistočo, hkrati pa proizvajajo manj proizvodne prekinitve, ki vodijo do izboljšane dosledne proizvodnje rezin, to je donosa in na koncu manj ostankov, kar vodi do večje donosnosti naložbe (donosnost naložbe) za polprevodniške proizvajalce.

Možnosti za uporaboAlumina keramikaRoka za polprevodniške procese je praktično neskončna - od premikanja rezin med mokrimi klopi, difuzijskih peči in komorami za odlaganje do pregledovanja in meroslovnih orodij, ki uporabljajo podlage. Vsestranskost tega izdelka ne omogoča samo uporabe za uporabo rezin, ampak tudi nadaljnje primere avtomatizacije, kjer je potrebna tudi natančnost, čistoča in zanesljivost. Polprevodniška industrija se neupravičeno premika k manjšim vozliščem in povečana zapletenost znotraj izdelave naprav, in ker industrija še naprej zahteva boljše ravnanje z zanesljivimi in nekontaminacijskimi rešitvami, keramična robotska roka ustvarja jasno pot naprej.