Sic prsti

SIC prsti SIC so specializirani deli, katerih primarne aplikacije so v opremi za predelavo polprevodnikov, zlasti v sistemih za ravnanje z rezinami in podpornimi sistemi. Njihova glavna funkcija je podpirati ali držati rezine med procesi, kot so epitaksija, ionska implantacija ali toplotna obdelava, v kateri je kritična dimenzijska stabilnost ali čistoča, skupaj z zanesljivostjo. Silicijev karbid združuje mehansko trdnost z odlično toplotno in kemijsko odpornostjo, te značilnosti pa so potrebne v naprednih izdelavih polprevodniških linijah, zato so sic prsti v takšnih aplikacijah nepogrešljivi.

Prodajna funkcijaSilicijev karbidKot material je sposobnost, da zdrži izjemno visoke delovne temperature, ne da bi izgubili mehansko celovitost. V polprevodniških procesih, kot je epitaksialna rast, rezine doživljajo povišane temperature nenadoma in v podaljšanih obdobjih. Ko bodo vpleteni prsti, bodo ohranili svojo poravnavo in moč v celotnih visokotemperaturnih ciklih, tako da rezine ostanejo na mestu, kar zmanjšuje gibanje, da se prepreči deformacija ali neskladje, da se ohrani ustrezna enotnost procesa za doseganje sprejemljivega donosa naprave. SIC prsti zagotavljajo veliko daljšo storitev kot tipične keramične ali kovinske nosilce, hkrati pa so veliko bolj dosledni pri visokotemperaturnih obremenitvah.

Ključna prednost sic prstov je njihova vrhunska kemična odpornost. Vse polprevodniške aplikacije vključujejo reaktivne pline, izpostavljenost plazmam in izpostavljenost korozivnim kemikalijam. Korodirani ali razpadajoči material se odziva s sproščanjem delcev ali onesnaževalcev, ki lahko poslabšajo kakovost rezin.Silicijev karbidima kemično inertno površino, ki se ne bo pritrdila ali reagirala na agresivne kemikalije, kar povzroči čisto procesno okolje in znatno zmanjšano tveganje za kontaminacijo. To dodaja trajnost orodja za ravnanje z rezinami, ki neposredno prispeva k stabilnim in ponovljivim rezultatom procesa, kar je ključnega pomena pri proizvodnji polprevodniških naprav z visokim donosom.

Natančnost je še ena ključna pozornost pri zasnovi sic prsta. Ravnanje z rezinami pomeni komponente z izjemno tesnimi tolerancami, mikrometri lahko povzročijo neskladje rezin, povečajo potencial za razbijanje rezin ali povzročijo neskladnosti v procesih. Z uporabo najnovejše tehnologije obdelave in poliranja se lahko s prsti Sic ustvarijo z najvišjo dimenzijsko tolerancami in površinsko ploščnostjo in gladko zaključkom. To zagotavlja stabilno, razmeroma inercijsko brezplačno platformo za podporo rezin z zmanjšanim potencialom za oblikovanje delcev in večkratno delovanje aplikacij za ravnanje z rezinami v samodejni opremi za predelavo polprevodnikov.

Poleg osnovnih materialnih prednosti SIC prstov je mogoče narediti tudi specifično tako, da ustrezajo vsaki opremi ali postopku. Različne velikosti rezin, različni modeli reaktorjev in različno ravnanje z upravljavci zahtevajo posebne izdelane rešitve. SIC prste je mogoče izdelati v kateri koli geometriji ali dimenziji, površinsko obdelavo pa lahko nanesemo kot primerno za določene aplikacije.

SIC prsti tudi zmanjšujejo obratovalne stroške, zaradi dolge uporabne življenjske dobe (znižanje pogostosti zamenjave) in zmanjšanih časov zaradi okvare ali onesnaženja z odlaganjem zaradi toplotnega ali kemičnega stresa. Z vzdržljivostjo in zanesljivostjo za proizvajalce polprevodnikov uporaba SIC prstov vodi do povečanega časa, nižjih potrošnih stroškov in splošne izboljšane učinkovitosti procesa.

SIC prsti praktično uporabljajo večinoma v reaktorjih rasti epitaksije, saj zagotavljajo stabilno držanje rezin med ekstremnimi toplotnimi in kemičnimi procesi. Uporabljajo se tudi v ionskih implanterjih ali visokih temperaturnih žariščih, kjer je kritična mehanska stabilnost, pa tudi kemična inertnost. V aplikacijah dosledna uspešnost izkorišča tudi njihovo uporabo pri ravnanju z rezinami, ki so kritično pri zagotavljanju enotnosti procesov, celovitosti rezin in kakovosti.

Polmonski sic prsti so močni primeri prednostiSilicijev karbidni material Za visoko temperaturno, kemično odporne, natančno oblikovane polprevodniške komponente. Materialno okolje sic prstov zagotavlja visoko temperaturno stabilnost, izjemno kemično odpornost in sposobnost izdelave do visokih natančnosti. Močna in prilagodljiva komponenta je ključnega pomena za doseganje stabilne proizvodnje in izboljšane donose in stroškovne učinkovitosti za proizvajalce polprevodnikov. SIC prsti so še naprej napredna in zanesljiva rešitev za FAB, osredotočene na stabilnost procesa in zagotavljanje kakovosti.