Fokusni obroč ali robni obroči so zasnovani za izboljšanje enakomernosti jedkanja okoli roba rezine ali oboda.
Fokusni obroči Semicorex so prevlečeni s silicijevim karbidom z uporabo kemičnega naparjevanja (CVD) in zagotavljajo vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost ter trajno kemično odpornost, ki so izdelani tako, da prenesejo ekstremna okolja v postopku plazemskega jedkanja ali suhega jedkanja .
Semicorex SiC Focus Ring je obročna komponenta iz silicijevega karbida visoke čistosti, zasnovana za optimizacijo porazdelitve plazme in enotnosti procesa rezin v proizvodnji polprevodnikov. Izbira Semicorexa pomeni zagotavljanje dosledne kakovosti, naprednega inženiringa materialov in zanesljive zmogljivosti, ki ji zaupajo vodilne tovarne polprevodnikov po vsem svetu.*
Preberi večPošlji povpraševanje