Fokusni obroč ali robni obroči so zasnovani za izboljšanje enakomernosti jedkanja okoli roba rezine ali oboda.
Fokusni obroči Semicorex so prevlečeni s silicijevim karbidom z uporabo kemičnega naparjevanja (CVD) in zagotavljajo vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost ter trajno kemično odpornost, ki so izdelani tako, da prenesejo ekstremna okolja v postopku plazemskega jedkanja ali suhega jedkanja .
Vzdržljivi fokusni obroči Semicorex za obdelavo polprevodnikov so zasnovani tako, da prenesejo ekstremna okolja komor za plazemsko jedkanje, ki se uporabljajo pri obdelavi polprevodnikov. Naši fokusni obroči so narejeni iz grafita visoke čistosti, prevlečenega z gosto, proti obrabi odporno prevleko iz silicijevega karbida (SiC). Prevleka SiC ima visoko odpornost proti koroziji in toploti ter odlično toplotno prevodnost. SiC nanašamo v tankih plasteh na grafit s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD), da izboljšamo življenjsko dobo naših fokusnih obročev.
Preberi večPošlji povpraševanjeFokusni obroč za plazemsko obdelavo Semicorex je posebej zasnovan za izpolnjevanje visokih zahtev obdelave s plazemskim jedkanjem v industriji polprevodnikov. Naše napredne komponente s prevleko iz silicijevega karbida visoke čistosti so izdelane tako, da prenesejo ekstremna okolja in so primerne za uporabo v različnih aplikacijah, vključno s plastmi silicijevega karbida in epitaksijskimi polprevodniki.
Preberi večPošlji povpraševanjeNapredni fokusni obroči iz SiC visoke čistosti Semicorex so izdelani tako, da prenesejo ekstremna okolja v komorah za plazemsko jedkanje (ali suho jedkanje). Osredotočeni smo na industrijo polprevodnikov, kot so plasti silicijevega karbida in epitaksija polprevodnikov. Naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje