Izdelki

Keramični bati iz aluminijevega oksida Semicorex so natančne cilindrične gibljive komponente, izdelane iz vrhunskih surovin iz aluminijevega oksida. Kot nadgrajena alternativa običajnim kovinskim batom so keramični bati Semicorex iz aluminijevega oksida idealne rešitve za vzdržljivost v zahtevnih delovnih okoljih z visokim pritiskom, močno abrazijo in intenzivno kemično korozijo.

Kompozitni vodilni cilindri Semicorex C/C so nepogrešljive funkcionalne komponente, ki se posebej uporabljajo za rast monokristalnega silicija visoke čistosti. Izdelani iz visoko zmogljivih kompozitov ogljik-ogljik s pomočjo specializiranih tehnologij, kompozitni vodilni cilindri Semicorex C/C vzdržujejo stabilno dolgoročno delovanje pod zahtevnimi toplotnimi polji monokristalnega silicija z visoko temperaturo in korozivnimi atmosferami.

Semicorex 6-palčni SiC rezinski čolni so ključna orodja za prenašanje keramičnih rezin, ki se uporabljajo za držanje, prenos in obdelavo rezin. Prilagojeni za držanje 6-palčnih rezin, Semicorex 6-palčni SiC rezinski čolni so popolnoma združljivi s težkimi delovnimi pogoji postopka difuzije polprevodnikov pri visokih temperaturah, kar ponuja rezultate ravnanja z rezinami brez kontaminacije in poškodb.

Končni efektorji iz aluminijevega oksida Semicorex so nepogrešljive mehanske strukturne komponente, natančno izdelane iz vrhunske aluminijeve keramike. Keramični končni efektorji iz aluminijevega oksida Semicorex so zmožni natančnega izvajanja ključnih nalog ravnanja z rezinami, vključno s pobiranjem, tranzitom in poravnavo rezin, najti široko uporabo v vrhunski opremi za izdelavo polprevodnikov in visoko natančnih sistemih za avtomatizacijo.

Grelniki s prevleko Semicorex SiC so grafitne grelne komponente, prevlečene s CVD SiC, zasnovane za termična polja polprevodnikov, ki zagotavljajo učinkovito ustvarjanje toplote, odlično odpornost proti koroziji in dolgoročno zanesljivost v visokotemperaturni procesni opremi. Semicorex proizvajalcem polprevodnikov po vsem svetu dobavlja prilagojene grafitne grelnike, prevlečene s SiC, in celovite rešitve toplotnega polja, podprte z napredno tehnologijo prevleke CVD, natančnim inženiringom in zanesljivo globalno dostavo.*

Keramične lopatice Semicorex SiC so konzolni nosilci rezin iz silicijevega karbida visoke čistosti, zasnovani za zanesljivo ravnanje z rezinami in transport v procesih visokotemperaturnih polprevodniških peči, ki nudijo odlično toplotno stabilnost, nizko kontaminacijo in dolgo življenjsko dobo. Semicorex strankam po vsem svetu dobavlja visoko zmogljive komponente za keramične peči iz SiC, ki zagotavljajo prilagojene modele, natančno proizvodnjo in zanesljivo globalno dostavo za industrijo polprevodnikov in fotovoltaike.*