Obroči za dovod plina se uporabljajo za pokrivanje roba in oboda rezin, ščitijo kritične komponente komore, da ustvarijo čisto, inertno in zaščiteno okolje ter podaljšujejo njihovo življenjsko dobo v komorah za nanašanje, tako da so med nanašanjem ali obdelavo rezin izpostavljeni plazmi in visoki temperaturi , zato sta močna obstojnost plazme in visoka čistost ključni za končni izkoristek rezin.
Semicorex CVD SiC prevlečeni obroči, zasnovani posebej za te zahtevne aplikacije opreme za epitaksijo.