Obroči za dovod plina se uporabljajo za pokrivanje roba in oboda rezin, ščitijo kritične komponente komore, da ustvarijo čisto, inertno in zaščiteno okolje ter podaljšujejo njihovo življenjsko dobo v komorah za nanašanje, tako da so med nanašanjem ali obdelavo rezin izpostavljeni plazmi in visoki temperaturi , zato sta močna obstojnost plazme in visoka čistost ključni za končni izkoristek rezin.
Semicorex CVD SiC prevlečeni obroči, zasnovani posebej za te zahtevne aplikacije opreme za epitaksijo.
Polmovni vhodni obroči SIC so visokozmogljive komponente silicijevega karbida, zasnovane za opremo za predelavo polprevodnikov, ki ponujajo izjemno toplotno stabilnost, kemično odpornost in natančno obdelavo. Izbira Semicorex pomeni dostop do zanesljivih, prilagojenih in brez kontaminacijskih rešitev, ki jim zaupajo vodilni proizvajalci polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanje