Prevleka SiC je tanka plast na suceptorju s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Material iz silicijevega karbida nudi številne prednosti pred silicijem, vključno z 10-kratno prebojno električno poljsko jakostjo, 3-kratno širino pasovne vrzeli, kar zagotavlja materialu visoko temperaturno in kemično odpornost, odlično odpornost proti obrabi in toplotno prevodnost.
Semicorex zagotavlja prilagojene storitve, vam pomaga pri inovacijah s komponentami, ki trajajo dlje, skrajšajo čase ciklov in izboljšajo donose.
Prevleka SiC ima več edinstvenih prednosti
Odpornost na visoke temperature: CVD SiC prevlečen suceptor lahko prenese visoke temperature do 1600 °C, ne da bi bil podvržen občutni toplotni razgradnji.
Odpornost na kemikalije: Prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično odpornost na širok spekter kemikalij, vključno s kislinami, alkalijami in organskimi topili.
Odpornost proti obrabi: prevleka SiC zagotavlja materialu odlično odpornost proti obrabi, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki vključujejo visoko obrabo.
Toplotna prevodnost: prevleka CVD SiC zagotavlja materialu visoko toplotno prevodnost, zaradi česar je primeren za uporabo pri visokotemperaturnih aplikacijah, ki zahtevajo učinkovit prenos toplote.
Visoka trdnost in togost: Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, zagotavlja materialu visoko trdnost in togost, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki zahtevajo visoko mehansko trdnost.
Prevleka SiC se uporablja v različnih aplikacijah
Izdelava LED: CVD SiC prevlečen suceptor se zaradi svoje visoke toplotne prevodnosti in kemične odpornosti uporablja pri izdelavi različnih tipov LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globoko UV LED.
Mobilna komunikacija: CVD SiC prevlečen suceptor je ključni del HEMT za dokončanje epitaksialnega postopka GaN-on-SiC.
Obdelava polprevodnikov: CVD SiC prevlečen suceptor se uporablja v industriji polprevodnikov za različne aplikacije, vključno z obdelavo rezin in epitaksialno rastjo.
SiC prevlečene grafitne komponente
Prevleka, izdelana iz grafita s prevleko iz silicijevega karbida (SiC), se nanese z metodo CVD na specifične vrste grafita visoke gostote, tako da lahko deluje v visokotemperaturni peči z več kot 3000 °C v inertni atmosferi, 2200 °C v vakuumu .
Posebne lastnosti in majhna masa materiala omogočajo hitro segrevanje, enakomerno porazdelitev temperature in izjemno natančnost krmiljenja.
Podatki o materialu Semicorex SiC Coating
Tipične lastnosti |
Enote |
Vrednote |
Struktura |
|
FCC β faza |
Orientacija |
Ulomek (%) |
111 zaželeno |
Nasipna gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Toplotna zmogljivost |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Toplotna ekspanzija 100â600 °C (212â1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 °) |
430 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Zaključek CVD SiC prevlečen suceptor je kompozitni material, ki združuje lastnosti suceptorja in silicijevega karbida. Ta material ima edinstvene lastnosti, vključno z visoko temperaturno in kemično odpornostjo, odlično odpornostjo proti obrabi, visoko toplotno prevodnostjo ter visoko trdnostjo in togostjo. Zaradi teh lastnosti je privlačen material za različne visokotemperaturne aplikacije, vključno s predelavo polprevodnikov, kemično obdelavo, toplotno obdelavo, proizvodnjo sončnih celic in proizvodnjo LED.
Držalo za čolne Semicorex iz silicijevega karbida je specializiran izdelek, izdelan iz materiala SiC, natančno zasnovan za uporabo v industrijah, kot so fotovoltaika, elektronika in polprevodniki. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Solar Graphite Boat, natančno zasnovano držalo za rezine, zasnovano za izpolnjevanje strogih zahtev visokotemperaturne obdelave polprevodnikov. Ta inovativni čoln, izdelan iz vrhunskega grafita, ponuja neprimerljivo toplotno stabilnost in vzdržljivost ter zagotavlja optimalno delovanje tudi v najzahtevnejših okoljih peči. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Support Crucible je osrednja komponenta v zapletenem procesu rasti solarnih silicijevih kristalov in služi kot trden temelj za preoblikovanje surovin v visokokakovostne silicijeve ingote, namenjene fotonapetostnim aplikacijam. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Barrel Susceptor s prevleko SiC je vrhunska rešitev, zasnovana za dvig učinkovitosti in natančnosti epitaksialnih postopkov silicija. Izdelan s skrbno pozornostjo do detajlov, je ta sodčasti susceptor s prevleko iz SiC prilagojen zahtevnim zahtevam proizvodnje polprevodnikov, saj služi kot optimalno držalo za rezine in omogoča brezhiben prenos toplote na rezine. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Barrel For Silicon Epitaxy je zasnovan za izpolnjevanje zahtevnih zahtev uporabnih materialov in enot LPE. Ta sodčasti suceptor, izdelan z natančnostjo in inovativnostjo, je izdelan iz visokokakovostnega grafita, prevlečenega s SiC, kar zagotavlja izjemno zmogljivost in vzdržljivost pri uporabi silicijeve epitaksije. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeGrafitni susceptor Semicorex s prevleko SiC je bistvena komponenta, zasnovana za postopke epitaksije silicija v enotah za uporabne materiale in LPE (epitaksija v tekoči fazi). Izdelan iz visokokakovostnega grafitnega materiala, prevlečenega s silicijevim karbidom (SiC), ta suceptor zagotavlja vrhunsko delovanje in dolgo življenjsko dobo v okoljih proizvodnje polprevodnikov. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje