Prevleka SiC je tanka plast na suceptorju s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Material iz silicijevega karbida nudi številne prednosti pred silicijem, vključno z 10-kratno prebojno električno poljsko jakostjo, 3-kratno širino pasovne vrzeli, kar zagotavlja materialu visoko temperaturno in kemično odpornost, odlično odpornost proti obrabi in toplotno prevodnost.
Semicorex zagotavlja prilagojene storitve, vam pomaga pri inovacijah s komponentami, ki trajajo dlje, skrajšajo čase ciklov in izboljšajo donose.
Prevleka SiC ima več edinstvenih prednosti
Odpornost na visoke temperature: suceptor, prevlečen s CVD SiC, lahko prenese visoke temperature do 1600 °C, ne da bi bil podvržen občutni toplotni razgradnji.
Odpornost na kemikalije: Prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično odpornost na široko paleto kemikalij, vključno s kislinami, alkalijami in organskimi topili.
Odpornost proti obrabi: prevleka SiC zagotavlja materialu odlično odpornost proti obrabi, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki vključujejo visoko obrabo.
Toplotna prevodnost: prevleka CVD SiC zagotavlja materialu visoko toplotno prevodnost, zaradi česar je primeren za uporabo pri visokotemperaturnih aplikacijah, ki zahtevajo učinkovit prenos toplote.
Visoka trdnost in togost: Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, zagotavlja materialu visoko trdnost in togost, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki zahtevajo visoko mehansko trdnost.
Prevleka SiC se uporablja v različnih aplikacijah
Izdelava LED: CVD SiC prevlečen suceptor se zaradi svoje visoke toplotne prevodnosti in kemične odpornosti uporablja pri izdelavi različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globoko UV LED.
Mobilna komunikacija: CVD SiC prevlečen suceptor je ključni del HEMT za dokončanje epitaksialnega postopka GaN-on-SiC.
Obdelava polprevodnikov: CVD SiC prevlečen suceptor se uporablja v industriji polprevodnikov za različne aplikacije, vključno z obdelavo rezin in epitaksialno rastjo.
SiC prevlečene grafitne komponente
Izdelan iz grafita s prevleko iz silicijevega karbida (SiC), je prevleka nanesena z metodo CVD na posebne vrste grafita visoke gostote, tako da lahko deluje v visokotemperaturni peči z več kot 3000 °C v inertni atmosferi, 2200 °C v vakuumu .
Posebne lastnosti in majhna masa materiala omogočajo hitro segrevanje, enakomerno porazdelitev temperature in izjemno natančnost krmiljenja.
Podatki o materialu Semicorex SiC Coating
|
Tipične lastnosti |
Enote |
Vrednote |
|
Struktura |
|
FCC β faza |
|
Orientacija |
Delež (%) |
111 zaželeno |
|
Nasipna gostota |
g/cm³ |
3.21 |
|
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
|
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
|
Toplotna ekspanzija 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
|
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
|
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
|
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
|
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Zaključek CVD SiC prevlečen suceptor je kompozitni material, ki združuje lastnosti suceptorja in silicijevega karbida. Ta material ima edinstvene lastnosti, vključno z visoko temperaturno in kemično odpornostjo, odlično odpornostjo proti obrabi, visoko toplotno prevodnostjo ter visoko trdnostjo in togostjo. Zaradi teh lastnosti je privlačen material za različne visokotemperaturne aplikacije, vključno s predelavo polprevodnikov, kemično obdelavo, toplotno obdelavo, proizvodnjo sončnih celic in proizvodnjo LED.
Grafitni MOCVD-suceptorji, prevlečeni s SiC, so bistvene komponente, ki se uporabljajo v opremi za kovinsko-organsko kemično naparjevanje (MOCVD), ki je odgovorna za držanje in ogrevanje substratov rezin. S svojim vrhunskim upravljanjem toplote, kemično odpornostjo in dimenzijsko stabilnostjo grafitni MOCVD suceptorji, prevlečeni s SiC, veljajo za optimalno možnost za visokokakovostno epitaksijo substrata rezin. Pri izdelavi rezin se tehnologija MOCVD uporablja za izdelavo epitaksialnih plasti na površini substratov za rezine, ki se pripravljajo na izdelavo naprednih polprevodniških naprav. Ker na rast epitaksialnih plasti vpliva več dejavnikov, substratov za rezine ni mogoče neposredno namestiti v opremo MOCVD za nanašanje. Grafitni MOCVD suceptorji, prevlečeni s SiC, so potrebni za drža......
Preberi večPošlji povpraševanjeGrafitni pladenj, prevlečen s SiC, je vrhunski polprevodniški del, ki daje Si substratom natančen nadzor temperature in stabilno podporo med procesom epitaksialne rasti silicija. Semicorex vedno daje glavno prednost povpraševanju kupcev in strankam zagotavlja rešitve osnovnih komponent, ki so potrebne za proizvodnjo visokokakovostnih polprevodnikov.
Preberi večPošlji povpraševanjeSEMMECOREX 8 -palčni EPI Top Ring je grafitna komponenta, prevlečena s sic, zasnovana za uporabo kot zgornji pokrov obroč v sistemih za epitaksialne rasti. Izberite SEMEMOREX za njegovo čistost materiala, natančno obdelavo in dosledno kakovost premaza, ki zagotavljajo stabilno delovanje in podaljšano življenjsko dobo komponent v visokotemperaturnih polprevodniških procesih.****
Preberi večPošlji povpraševanjeSpodnji spodnji obroč iz pol palčnega EPI je robustna grafitna komponenta, prevlečena s sic, ki je ključnega pomena za obdelavo epitaksialnih rezin. Izberite Semicorex za neprimerljivo čistost materiala, natančnost premaza in zanesljive zmogljivosti v vsakem proizvodnem ciklu.*
Preberi večPošlji povpraševanjePosemonski 8-palčni EPI obstreznik je visokozmogljiv nosilec grafitne rezine, ki je zasnovan za uporabo v opremi za epitaksialno nalaganje. Izbira Semicorex zagotavlja vrhunsko čistost materiala, natančno proizvodnjo in dosledno zanesljivost izdelkov, prilagojeno tako, da izpolnjuje zahtevne standarde polprevodniške industrije.*
Preberi večPošlji povpraševanjePolmični nosilec SIC za ICP je visokozmogljivo držalo rezin, narejeno iz grafita, prevlečenega s SIC, zasnovan posebej za uporabo v sistemih jedkanja in nalaganja induktivno povezanih plazme (ICP). Izberite SEMEMOREX za našo vodilno anizotropno grafitno kakovost, natančno proizvodnjo majhne serije in brezkompromisne zavezanosti čistosti, doslednosti in zmogljivosti procesov.***
Preberi večPošlji povpraševanje