1x2" grafitne rezinke

Pri izdelavi polprevodniških rezin je treba epitaksialno plast gojiti na substratu rezine za kasnejšo izdelavo polprevodniških naprav. Ker je proces epitaksialne rasti zelo občutljiv na temperaturna nihanja in kontaminacijo, so izbori zanesljivihprijemalke rezinso kritično pomembne. Kot nepogrešljivi podporni deli v epitaksialnem procesu rezin so natančnost obdelave, zmožnost toplotnega upravljanja in zmogljivost odpornosti proti kontaminaciji ključni dejavniki pri doseganju visokokakovostne epitaksialne rasti rezin.

Funkcije grafitnih rezin Semicorex 1x2".

Izdelani iz ultra finozrnatega grafita visoke čistosti kot njihove matrice z gosto prevleko iz silicijevega karbida po posebnih postopkih, Semicorex 1x2" grafitni prijemalniki zagotavljajo naslednje funkcije:

1. Varno in zastarelo držanje

Semicorex 1x2"grafitprijemalke za rezine imajo natančno obdelavo in obdelavo, kar zagotavlja izjemno ravnost površine in dimenzijsko natančnost. To zagotavlja, da so trdno pritrjeni v ustreznem položaju in zagotavlja stabilno, ravno podporno platformo za epitaksialno rast rezin.

2. Natančna enakomerna porazdelitev toplote

Z odlično toplotno prevodnostjo grafitnih in SiC materialov Semicorex 1x2" grafitni rezinski prijemalniki zagotavljajo hitro in enakomerno porazdelitev toplote po polprevodniški snovi. Z zmanjšanjem temperaturnih gradientov se lahko Semicorex 1x2" grafitni rezinski prijemalniki učinkovito izognejo težavam, kot sta neenakomerna epitaksialna kakovost in koncentracija napetosti.

Prednosti prevleke iz silicijevega karbida Semicorex

1. Vrhunska odpornost proti koroziji

Prekriti z gosto prevleko iz silicijevega karbida, so grafitni suceptorji Semicorex 1x2" učinkovito odporni na večino kemikalij, zaradi česar so primerni za uporabo v zelo korozivnih pogojih delovanja, kjer je material pogosto izpostavljen jedkim plinom in kemičnim hlapom.

2. Nizko odvajanje delcev

Semicorexprevleka iz silicijevega karbidaima visoko vezno trdnost z grafitno matriko, s čimer se lahko znatno izogne ​​tveganju kontaminacije substrata zaradi odstopitve prevleke zaradi korozije in izpadanja delcev, ki ga povzročajo okolja z visoko korozijo.

3. Zanesljiva življenjska doba

Čeprav grafitne matrike izkazujejo odlično toplotno stabilnost in mehansko trdnost, so nagnjene k koroziji in razpršitvi v delovnih pogojih epitaksialnega postopka, kar močno skrajša življenjsko dobo neprevlečenih grafitnih matric. S popolno inkapsulacijo grafitnih matriks z gostimi prevlekami iz SiC dosegajo naši 1×2" prijemalniki grafitnih rezin vrhunsko in zanesljivo vzdržljivost.

Podatki o materialu Semicorex SiC Coating