Grafitni susceptor s prevleko iz silicijevega karbida za MOCVD

Semicorex je zaupanja vreden dobavitelj in proizvajalec grafitnega suceptorja s prevleko iz silicijevega karbida za MOCVD. Naš izdelek je posebej zasnovan za potrebe industrije polprevodnikov pri gojenju epitaksialne plasti na rezinskem čipu. Izdelek se uporablja kot osrednja plošča v MOCVD z zobato ali obročasto zasnovo. Ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, zaradi česar je idealen za uporabo v ekstremnih okoljih.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naš grafitni sprejemnik s prevleko iz silicijevega karbida za MOCVD ima več ključnih lastnosti, zaradi katerih izstopa od konkurence. Zagotavlja prevleko na vseh površinah, preprečuje luščenje in ima odpornost na visokotemperaturno oksidacijo, kar zagotavlja stabilnost tudi pri visokih temperaturah do 1600°C. Izdelek je narejen z visoko čistostjo s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja. Ima gosto površino z drobnimi delci, zaradi česar je zelo odporen proti koroziji zaradi kislin, alkalij, soli in organskih reagentov.
Naš grafitni suceptor s prevleko iz silicijevega karbida za MOCVD je zasnovan za doseganje najboljšega laminarnega vzorca pretoka plina, kar zagotavlja enakomeren toplotni profil. Preprečuje kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč, kar zagotavlja visokokakovostno epitaksialno rast na rezinskem čipu.

Parametri grafitnega susceptorja s prevleko iz silicijevega karbida za MOCVD

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti grafitnega susceptorja s prevleko iz silicijevega karbida za MOCVD

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč

Hot Tags: Grafitni susceptor s prevleko iz silicijevega karbida za MOCVD, Kitajska, proizvajalci, dobavitelji, tovarna, prilagojeno, razsuto, napredno, vzdržljivo