SiC prevlečen grafitni susceptor za MOCVD

Semicorex je obsežen proizvajalec in dobavitelj grafitnih susceptorjev, prevlečenih s silicijevim karbidom, na Kitajskem. Osredotočeni smo na industrijo polprevodnikov, kot so plasti silicijevega karbida in epitaksija polprevodnikov. Naš grafitni susceptor s prevleko iz SiC za MOCVD ima dobro cenovno ugodnost in pokriva številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Semicorex SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD je grafitni nosilec visoke čistosti, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se v procesu uporablja za rast epiksialne plasti na rezinskem čipu. To je središčna plošča v MOCVD, oblika zobnika ali obroča. SiC prevlečeni grafitni susceptor za MOCVD ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, ki ima veliko stabilnost v ekstremnih okoljih.
Pri Semicorexu smo zavezani k zagotavljanju visokokakovostnih izdelkov in storitev našim strankam. Uporabljamo le najboljše materiale, naši izdelki pa so zasnovani tako, da ustrezajo najvišjim standardom kakovosti in zmogljivosti. Naš grafitni susceptor s prevleko iz SiC za MOCVD ni izjema. Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o tem, kako vam lahko pomagamo pri vaših potrebah po obdelavi polprevodniških rezin.

Parametri grafitnega susceptorja, prevlečenega s SiC, za MOCVD

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti grafitnega susceptorja s prevleko iz SiC za MOCVD

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč