SiC susceptor za MOCVD

Semicorex je vodilni proizvajalec in dobavitelj SiC susceptorja za MOCVD. Naš izdelek je posebej zasnovan za potrebe industrije polprevodnikov pri gojenju epitaksialne plasti na rezinskem čipu. Izdelek se uporablja kot osrednja plošča v MOCVD z zobato ali obročasto zasnovo. Ima visoko toplotno in korozijsko odpornost, zaradi česar je idealen za uporabo v ekstremnih okoljih.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naš SiC susceptor za MOCVD je izdelek vrhunske kakovosti, ki ima več ključnih lastnosti. Zagotavlja prevleko na vseh površinah, preprečuje luščenje in je odporen na visokotemperaturno oksidacijo, kar zagotavlja stabilnost tudi pri visokih temperaturah do 1600°C. Izdelek je narejen z visoko čistostjo s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja. Ima gosto površino z drobnimi delci, zaradi česar je zelo odporen proti koroziji zaradi kislin, alkalij, soli in organskih reagentov.
Naš SiC susceptor za MOCVD je zasnovan tako, da zagotavlja najboljši laminarni vzorec pretoka plina, ki zagotavlja enakomeren toplotni profil. Preprečuje kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč, kar zagotavlja visokokakovostno epitaksialno rast na rezinskem čipu.

Parametri SiC susceptorja za MOCVD

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Lastnosti SiC susceptorja za MOCVD

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč