MOCVD Cover Star Disc Plate za epitaksijo rezin

Semicorex je priznani proizvajalec in dobavitelj visokokakovostne plošče MOCVD Cover Star Disc Plate za epitaksijo rezin. Naš izdelek je posebej zasnovan za potrebe polprevodniške industrije, zlasti pri gojenju epitaksialne plasti na rezinskem čipu. Naš susceptor se uporablja kot osrednja plošča v MOCVD z zobato ali obročasto zasnovo. Izdelek je zelo odporen na visoko vročino in korozijo, zaradi česar je idealen za uporabo v ekstremnih okoljih.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Naša MOCVD Cover Star Disc Plate for Wafer Epitaxy je odličen izdelek, ki zagotavlja prevleko na vseh površinah, s čimer se prepreči luščenje. Ima visokotemperaturno oksidacijsko odpornost, ki zagotavlja stabilnost tudi pri visokih temperaturah do 1600°C. Izdelek je narejen z visoko čistostjo s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja. Ima gosto površino z drobnimi delci, zaradi česar je zelo odporen proti koroziji zaradi kislin, alkalij, soli in organskih reagentov.
Naša plošča MOCVD Cover Star Disc Plate za epitaksijo rezin zagotavlja najboljši laminarni vzorec pretoka plina, ki zagotavlja enakomernost toplotnega profila. Preprečuje kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč, kar zagotavlja visokokakovostno epitaksialno rast na rezinskem čipu. Naš izdelek ima konkurenčno ceno, zaradi česar je dostopen številnim strankam. Pokrivamo številne evropske in ameriške trge, naša ekipa pa je predana zagotavljanju odličnih storitev in podpore strankam. Prizadevamo si postati vaš dolgoročni partner pri zagotavljanju visokokakovostne in zanesljive plošče MOCVD Cover Star Disc Plate za Wafer Epitaxy.

Parametri MOCVD Cover Star Disc Plate za epitaksijo rezin

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC β faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	μm	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J kg-1 K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti MOCVD Cover Star Disc Plate za epitaksijo rezin

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina
- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila
- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč