Grafit s prevleko TaC je ustvarjen s prevleko površine grafitne podlage visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD).
Tantalov karbid (TaC) je spojina, ki je sestavljena iz tantala in ogljika. Ima kovinsko električno prevodnost in izjemno visoko tališče, zaradi česar je ognjevzdržen keramični material, znan po svoji trdnosti, trdoti ter odpornosti na toploto in obrabo. Tališče tantalovih karbidov doseže vrh pri približno 3880 °C, odvisno od čistosti, in ima eno najvišjih tališč med binarnimi spojinami. Zaradi tega je privlačna alternativa, ko višje temperaturne zahteve presegajo zmožnosti delovanja, ki se uporabljajo v epitaksialnih postopkih sestavljenih polprevodnikov, kot sta MOCVD in LPE.
Podatki o materialu Semicorex TaC Coating
|
Projekti |
Parametri |
|
Gostota |
14,3 (gm/cm³) |
|
Emisivnost |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Trdota (HK) |
2000 |
|
Upor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Toplotna stabilnost |
<2500 ℃ |
|
Sprememba dimenzij grafita |
-10~-20um (referenčna vrednost) |
|
Debelina prevleke |
Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
|
|
|
|
Zgoraj navedene so tipične vrednosti |
|
Obroči iz poroznega tantalovega karbida Semicorex so visoko zmogljive ognjevzdržne komponente, posebej zasnovane za proces fizičnega prenosa hlapov (PVT) rasti kristalov silicijevega karbida (SiC), ki imajo monolitno sintrano strukturo, ki nudi izjemno toplotno stabilnost in nadzorovano prepustnost za plin.*
Preberi večPošlji povpraševanjeGrafitne rezine, prevlečene s Semicorex TaC, so vrhunske komponente, ki se običajno uporabljajo za stabilno podporo in pozicioniranje polprevodniških rezin med naprednimi polprevodniškimi epitaksialnimi postopki. Z izkoriščanjem najsodobnejših proizvodnih tehnologij in zrelih proizvodnih izkušenj je Semicorex zavezan k dobavi po meri zasnovanih grafitnih rezin, prevlečenih s TaC, z vodilno kakovostjo na trgu za naše cenjene stranke.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex CVD TaC prevleke so visoko zmogljive grafitne prevleke z gosto prevleko TaC, zasnovane za zagotavljanje odlične toplotne enakomernosti in odpornosti proti koroziji za zahtevne postopke epitaksialne rasti SiC. Semicorex združuje napredno tehnologijo prevlek CVD s strogim nadzorom kakovosti, da zagotovi dolgotrajne susceptorje z nizko stopnjo kontaminacije, ki jim zaupajo svetovni proizvajalci SiC epi.*
Preberi večPošlji povpraševanjeVodilni obroči, prevlečeni s tantalovim karbidom Semicorex, so visoko zmogljive komponente obročev, ki se uporabljajo v opremi za rast polprevodniških kristalov. Zasnovani so posebej za ustvarjanje primernega temperaturnega gradienta in stabilnega okolja pretoka zraka med rastjo kristalov. Z izbiro vodilnih obročev Semicorex, prevlečenih s tantalovim karbidom, boste izkoristili tehnologijo premazov brez primere ter visoko učinkovito in stabilno proizvodno izkušnjo.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coated Graphite Crucible je narejen iz grafita s prevleko iz tantalovega karbida po metodi CVD, ki je najprimernejši material, uporabljen v proizvodnem procesu polprevodnikov. Semicorex je podjetje, ki je dosledno specializirano za CVD keramične prevleke in ponuja najboljše materialne rešitve v industriji polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC prevlečene komponente v epitaksialni rasti so dragoceni strojno obdelani deli, ki se nahajajo v dovodu zraka v epitaksialnem procesu v polprevodniku. Semicorex je vrhunsko podjetje, ki je specializirano za tehnologijo prevlek CVD TaC na Kitajskem in izvaža izdelke po vsem svetu.*
Preberi večPošlji povpraševanje