Grafit s prevleko TaC je ustvarjen s prevleko površine grafitne podlage visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD).
Tantalov karbid (TaC) je spojina, ki je sestavljena iz tantala in ogljika. Ima kovinsko električno prevodnost in izjemno visoko tališče, zaradi česar je ognjevzdržen keramični material, znan po svoji trdnosti, trdoti ter odpornosti na toploto in obrabo. Tališče tantalovih karbidov doseže vrh pri približno 3880 °C, odvisno od čistosti, in ima eno najvišjih tališč med binarnimi spojinami. Zaradi tega je privlačna alternativa, ko višje temperaturne zahteve presegajo zmogljivosti, ki se uporabljajo v epitaksialnih postopkih sestavljenih polprevodnikov, kot sta MOCVD in LPE.
Podatki o materialu Semicorex TaC Coating
Projekti |
Parametri |
Gostota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivnost |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Trdota (HK) |
2000 |
Upor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Toplotna stabilnost |
<2500â |
Sprememba dimenzij grafita |
-10~-20um (referenčna vrednost) |
Debelina prevleke |
â¥20um tipična vrednost (35um±10um) |
|
|
Zgoraj navedene so tipične vrednosti |
|
Semicorex TaC Coating Chuck, vrhunska vakuumska vpenjalna glava, opremljena s TaC prevlekami, posebej zasnovana za polprevodniške peči. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeLahko ste prepričani, da kupite epitaksialno ploščo s prevleko TaC v naši tovarni. Epitaksialna plošča s prevleko Semicorex TaC (tantalov karbid) se ponaša z izjemno toplotno odpornostjo, zaradi česar je idealna za aplikacije, ki so izpostavljene visokim temperaturam. Njegova izjemna sposobnost, da prenese vročino, zagotavlja vzdržljivost in zanesljivost v zahtevnih okoljih. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coated Plate je specializirana plošča, zasnovana za uporabo v epitaksialnih postopkih SiC, izdelana z natančnostjo iz visokokakovostnega grafitnega materiala. Njegova površina je natančno prevlečena s tantalovim karbidom (TaC), spojino, ki je znana po svoji izjemni čistosti in trdnosti. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coating Jig je osrednja komponenta v procesu izdelave polprevodnikov, natančno izdelana iz grafita in utrjena s prožno plastjo prevleke iz tantalovega karbida. Ta ključni element opreme uteleša zlitje vrhunske znanosti o materialih in natančnega inženiringa, zasnovan tako, da podpira stroge operativne zahteve in stroge standarde, ki prevladujejo pri izdelavi polprevodnikov. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coating Susceptor predstavlja vrhunec v inženirstvu materialov, natančno izdelan iz visokokakovostnega grafita in utrjen s prevleko iz tantalovega karbida. Ta inovativna komponenta, zasnovana predvsem za uporabo pri rasti kristalov SiC in epitaksialnih procesih SiC, je svetilnik vzdržljivosti in učinkovitosti v ekstremnih toplotnih in kemičnih okoljih. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeObroč s prevleko iz tantalovega karbida Semicorex je ključna komponenta, ki se uporablja pri obdelavi polprevodnikov. Zasnovan je s posebnim premazom, ki služi več funkcijam za povečanje učinkovitosti in dolgoživosti grafitnih komponent v polprevodniških strojih. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje