Grafit s prevleko TaC je ustvarjen s prevleko površine grafitne podlage visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD).
Tantalov karbid (TaC) je spojina, ki je sestavljena iz tantala in ogljika. Ima kovinsko električno prevodnost in izjemno visoko tališče, zaradi česar je ognjevzdržen keramični material, znan po svoji trdnosti, trdoti ter odpornosti na toploto in obrabo. Tališče tantalovih karbidov doseže vrh pri približno 3880 °C, odvisno od čistosti, in ima eno najvišjih tališč med binarnimi spojinami. Zaradi tega je privlačna alternativa, ko višje temperaturne zahteve presegajo zmožnosti delovanja, ki se uporabljajo v epitaksialnih postopkih sestavljenih polprevodnikov, kot sta MOCVD in LPE.
Podatki o materialu Semicorex TaC Coating
Projekti |
Parametri |
Gostota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivnost |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Trdota (HK) |
2000 |
Upor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Toplotna stabilnost |
<2500 ℃ |
Sprememba dimenzij grafita |
-10~-20um (referenčna vrednost) |
Debelina prevleke |
Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
|
|
Zgoraj navedene so tipične vrednosti |
|
Vodilni obroč Semicorex TaC Coating služi kot najpomembnejši del v opremi za kovinsko-organsko kemično naparjevanje (MOCVD), ki zagotavlja natančno in stabilno dostavo prekurzorskih plinov med postopkom epitaksialne rasti. Vodilni obroč za prevleko TaC predstavlja niz lastnosti, zaradi katerih je idealen za vzdržljivost v ekstremnih pogojih v reaktorski komori MOCVD.**
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coating Wafer Chuck predstavlja vrhunec inovacije v procesu epitaksije polprevodnikov, kritični fazi v proizvodnji polprevodnikov. Z našo predanostjo zagotavljanju izdelkov vrhunske kakovosti po konkurenčnih cenah smo pripravljeni, da postanemo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex MOCVD susceptor s prevleko TaC je vrhunska komponenta, natančno izdelana za optimalno delovanje v polprevodniških epitaksijskih procesih v sistemih MOCVD. Semicorex je neomajen v naši zavezanosti zagotavljanju vrhunskih izdelkov po zelo konkurenčnih cenah. Želimo si vzpostaviti trajno partnerstvo z vami na Kitajskem.*
Preberi večPošlji povpraševanjeObroč s prevleko Semicorex CVD TaC kraljuje kot kritična komponenta pri obdelavi polprevodnikov in simbolizira vrhunec sodobnega inženirstva materialov. Ta prstan, izdelan za uporabo v najstrožjih okoljih, kjer kraljujeta natančnost in zanesljivost, uteleša zlitje najsodobnejših tehnik nanašanja premazov z znanostjo o prožnih materialih. Semicorex vztrajno zagotavlja vrhunske izdelke po konkurenčnih cenah in nestrpno pričakujemo, da bomo z vami na Kitajskem sklenili dolgoletno partnerstvo.*
Preberi večPošlji povpraševanjePlanetarni susceptor s prevleko Semicorex TaC je visoko specializirana komponenta, zasnovana za uporabo v epitaksialnih postopkih proizvodnje polprevodnikov. Semicorex je namenjen zagotavljanju izdelkov vrhunske kakovosti po konkurenčnih cenah. Želimo si vzpostaviti dolgoročno partnerstvo z vami na Kitajskem.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Tantalum Carbide Coating Guide Ring je napredna komponenta, posebej zasnovana za industrijo polprevodnikov, ki igra ključno vlogo pri rasti kristalov silicijevega karbida (SiC). Ta izdelek je zasnovan tako, da izpolnjuje stroge zahteve visokotemperaturnih in visokonapetostnih okolij, ki so značilne za procese rasti polprevodniških kristalov. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem*.
Preberi večPošlji povpraševanje