Grafit s prevleko TaC je ustvarjen s prevleko površine grafitne podlage visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD).
Tantalov karbid (TaC) je spojina, ki je sestavljena iz tantala in ogljika. Ima kovinsko električno prevodnost in izjemno visoko tališče, zaradi česar je ognjevzdržen keramični material, znan po svoji trdnosti, trdoti ter odpornosti na toploto in obrabo. Tališče tantalovih karbidov doseže vrh pri približno 3880 °C, odvisno od čistosti, in ima eno najvišjih tališč med binarnimi spojinami. Zaradi tega je privlačna alternativa, ko višje temperaturne zahteve presegajo zmogljivosti, ki se uporabljajo v epitaksialnih postopkih sestavljenih polprevodnikov, kot sta MOCVD in LPE.
Podatki o materialu Semicorex TaC Coating
Projekti |
Parametri |
Gostota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivnost |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Trdota (HK) |
2000 |
Upor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Toplotna stabilnost |
<2500â |
Sprememba dimenzij grafita |
-10~-20um (referenčna vrednost) |
Debelina prevleke |
â¥20um tipična vrednost (35um±10um) |
|
|
Zgoraj navedene so tipične vrednosti |
|
Semicorex TaC prevlečeni grafitni deli so natančno izdelane komponente, ki so posebej zasnovane, da prenesejo zahtevno okolje obdelave polprevodnikov. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coating Graphite Cover predstavlja vrhunsko rešitev na področju toplotnih aplikacij za rast kristalov in epitaksialne (epi) postopke. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coating Ring je osrednja komponenta na področju rasti monokristalov znotraj termičnega polja. Ta specializiran vodilni obroč, izdelan z natančnostjo in inovativnostjo, igra ključno vlogo v zapletenem procesu proizvodnje monokristalnega materiala. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coated Wafer Susceptor je ključna komponenta, ki se uporablja v pečeh za kovinsko-organsko kemično naparjanje (MOCVD) za epitaksialno (epi) obdelavo polprevodnikov. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjePlošča s prevleko iz tantalovega karbida Semicorex TaC je vrhunska rešitev, zasnovana za izpolnjevanje strogih zahtev proizvodnje polprevodnikov, zlasti v fazi epitaksialne (epi) obdelave. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeVodilni obroč s prevleko Semicorex TaC, vrhunec inovacij v pečeh za rast monokristalov SiC (silicijev karbid). Ta vodilni obroč, ki je natančno zasnovan za izpolnjevanje strogih zahtev industrije polprevodnikov, obljublja, da bo na novo definiral vaše procese rasti kristalov z neprimerljivo natančnostjo in zanesljivostjo.
Preberi večPošlji povpraševanje