Grafit s prevleko TaC je ustvarjen s prevleko površine grafitne podlage visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD).
Tantalov karbid (TaC) je spojina, ki je sestavljena iz tantala in ogljika. Ima kovinsko električno prevodnost in izjemno visoko tališče, zaradi česar je ognjevzdržen keramični material, znan po svoji trdnosti, trdoti ter odpornosti na toploto in obrabo. Tališče tantalovih karbidov doseže vrh pri približno 3880 °C, odvisno od čistosti, in ima eno najvišjih tališč med binarnimi spojinami. Zaradi tega je privlačna alternativa, ko višje temperaturne zahteve presegajo zmožnosti delovanja, ki se uporabljajo v epitaksialnih postopkih sestavljenih polprevodnikov, kot sta MOCVD in LPE.
Podatki o materialu Semicorex TaC Coating
Projekti |
Parametri |
Gostota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivnost |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Trdota (HK) |
2000 |
Upor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Toplotna stabilnost |
<2500 ℃ |
Sprememba dimenzij grafita |
-10~-20um (referenčna vrednost) |
Debelina prevleke |
Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
|
|
Zgoraj navedene so tipične vrednosti |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Chuck je visoko zmogljiva komponenta, zasnovana za natančno rokovanje z rezinami in visokotemperaturne procese v proizvodnji polprevodnikov. Izberite Semicorex zaradi njegovih inovativnih, vzdržljivih izdelkov, ki zagotavljajo optimalno delovanje in dolgo življenjsko dobo v zahtevnih polprevodniških aplikacijah.*
Preberi večPošlji povpraševanjeObroč Semicorex TaC je visoko zmogljiva komponenta, zasnovana za rast monokristalov SiC, ki zagotavlja optimalno porazdelitev pretoka plina in nadzor temperature. Izberite Semicorex zaradi našega strokovnega znanja o naprednih materialih in natančnem inženiringu, ki zagotavlja trajne in zanesljive rešitve, ki povečujejo učinkovitost in kakovost vaših polprevodniških procesov.*
Preberi večPošlji povpraševanjeDel iz tantalovega karbida Semicorex je grafitna komponenta, prevlečena s TaC, zasnovana za visoko zmogljivo uporabo v aplikacijah za rast kristalov silicijevega karbida (SiC), ki ponuja odlično temperaturno in kemično odpornost. Izberite Semicorex za zanesljive, visokokakovostne komponente, ki izboljšujejo kakovost kristalov in učinkovitost proizvodnje v proizvodnji polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjeObroči iz tantalovega karbida Semicorex so ključne komponente, ki se uporabljajo v naprednih procesih izdelave polprevodnikov. Pri Semicorexu, znani po svoji izjemni trdoti, visokem tališču in kemični inertnosti, smo predani zagotavljanju izdelkov, ki izpolnjujejo najvišje standarde kakovosti in zmogljivosti, s čimer zagotavljamo, da naše stranke ostanejo v ospredju inovacij v industriji polprevodnikov.*
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor je grafitni pladenj, prevlečen s tantalovim karbidom, ki se uporablja pri epitaksialni rasti silicijevega karbida za izboljšanje kakovosti in učinkovitosti rezin. Izberite Semicorex zaradi njegove napredne tehnologije premazov in vzdržljivih rešitev, ki zagotavljajo vrhunske rezultate epitaksije SiC in podaljšano življenjsko dobo suceptorja.*
Preberi večPošlji povpraševanjeTaC Coating Guide Rings so grafitni obroči s prevleko iz tantalovega karbida, zasnovani za uporabo v pečeh za rast kristalov iz silicijevega karbida za izboljšanje kakovosti kristalov. Izberite Semicorex zaradi njegove napredne tehnologije premazov, ki zagotavlja vrhunsko vzdržljivost, toplotno stabilnost in optimizirano rast kristalov.*
Preberi večPošlji povpraševanje