Planetarna plošča s prevleko iz TaC

Planetarna plošča s prevleko Semicorex TaC služi kot ključna komponenta v reaktorjih MOCVD in ima planetarno zasnovo, za katero so značilni številni žepki za rezine, razporejeni vzdolž njene površine. Ti žepi so posebej ustvarjeni za zanesljivo namestitev rezin med fazo rasti katere koli epitaksialne plasti, stabilizacijo rezin substrata in zmanjšanje gibanja substrata pri povišanih temperaturah postopka. Natančna geometrija žepa zagotavlja dosledno postavitev rezin, ki je pomembna za enakomerno debelino epitaksialnih plasti in enakomerne ravni napak substrata za vse rezine, zrasle med istim postopkom.

Pomemben vidik zasnove planetarne plošče je ponovno zasnovana disperzija finih plinskih lukenj za pretok vzdolž površine plošče. Te luknje so skrbno zasnovane in strateško nameščene posebej za merjenje pretoka predhodnih plinov v reaktorju, tako da se doseže enakomerna disperzija plina in enakomerno odlaganje med vsako rezino. V katerem koli procesu MOCVD so vidiki plinske dinamike ključni pri določanju kakovosti filma, enakomernosti debeline in celotne zmogljivosti naprave. Optimiziran dizajn lukenj naTaC prevlečenPlanetary Plate zagotavlja, da vse rezine izkusijo enake procesne pogoje, kar zagotavlja optimalen način za izboljšanje izkoristka in ponovljivosti.

TheTaC (tantalov karbid) premazZaradi dolgotrajnosti in vzdržljivosti je planetarna plošča s prevleko iz TaC stroškovno učinkovita izbira za sisteme MOCVD. Vzdržljiva plast TaC lahko prenese ponavljajoče se toplotne cikle in izpostavljenost ekstremnim procesnim plinom, hkrati pa ohranja strukturno celovitost in stabilnost delovanja med delovanjem v daljših časovnih okvirih.

Zaradi dolgotrajnosti in vzdržljivosti je planetarna plošča s prevleko iz TaC stroškovno učinkovita izbira za sisteme MOCVD. Vzdržljiva plast TaC lahko prenese ponavljajoče se toplotne cikle in izpostavljenost ekstremnim procesnim plinom, hkrati pa ohranja strukturno celovitost in stabilnost delovanja med delovanjem v daljših časovnih okvirih.