Predstavljamo lonček s prevleko CVD Tac, popolno rešitev za proizvajalce polprevodniške opreme in uporabnike, ki zahtevajo najvišjo raven kakovosti in zmogljivosti. Naši lončki so prevlečeni z najsodobnejšo plastjo CVD Tac (tantalov karbid), ki zagotavlja vrhunsko odpornost proti koroziji in obrabi, zaradi česar so idealni za uporabo v različnih aplikacijah polprevodnikov.
Naši lončki, izdelani iz visokokakovostnih materialov in prevlečeni z najnaprednejšo tehnologijo CVD Tac, nudijo izjemno zmogljivost in dolgo življenjsko dobo. Prevleka CVD Tac zagotavlja zelo enotno, gosto plast, ki je zelo odporna na kemične napade, obrabo in toplotni šok. To zagotavlja, da naši lončki ohranijo svojo obliko in dimenzije tudi po večkratni uporabi, kar zmanjšuje potrebo po pogostih menjavah.
Naši lončki s prevleko CVD Tac so prav tako zelo združljivi s širokim naborom polprevodniških procesov, vključno s kemičnim naparjevanjem (CVD), fizikalnim naparjevanjem (PVD) in atomskim nanašanjem (ALD). Ne glede na to, ali proizvajate mikročipe, sončne celice ali druge polprevodniške naprave, vam naši lončki lahko pomagajo doseči optimalne rezultate.
Parametri prevleke TaC
Projekti |
Parametri |
Gostota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivnost |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Trdota (HK) |
2000 |
Upor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Toplotna stabilnost |
<2500 ℃ |
Sprememba dimenzij grafita |
-10~-20um (referenčna vrednost) |
Debelina prevleke |
Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
|
|
Zgoraj navedene so tipične vrednosti |
|
Značilnosti in prednosti naših lončkov s prevleko CVD Tac vključujejo:
Materiali visoke čistosti za zmanjšano onesnaženje in večji izkoristek
Odlična toplotna prevodnost za enakomerno ogrevanje in hlajenje
Izjemna odpornost na toplotne šoke za večjo vzdržljivost
Na voljo je široka paleta velikosti in oblik, ki ustrezajo vašim posebnim potrebam
Možnosti prilagajanja so na voljo na zahtevo