Grafit s prevleko TaC je ustvarjen s prevleko površine grafitne podlage visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD).
Tantalov karbid (TaC) je spojina, ki je sestavljena iz tantala in ogljika. Ima kovinsko električno prevodnost in izjemno visoko tališče, zaradi česar je ognjevzdržen keramični material, znan po svoji trdnosti, trdoti ter odpornosti na toploto in obrabo. Tališče tantalovih karbidov doseže vrh pri približno 3880 °C, odvisno od čistosti, in ima eno najvišjih tališč med binarnimi spojinami. Zaradi tega je privlačna alternativa, ko višje temperaturne zahteve presegajo zmožnosti delovanja, ki se uporabljajo v epitaksialnih postopkih sestavljenih polprevodnikov, kot sta MOCVD in LPE.
Podatki o materialu Semicorex TaC Coating
Projekti |
Parametri |
Gostota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivnost |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Trdota (HK) |
2000 |
Upor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Toplotna stabilnost |
<2500 ℃ |
Sprememba dimenzij grafita |
-10~-20um (referenčna vrednost) |
Debelina prevleke |
Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
|
|
Zgoraj navedene so tipične vrednosti |
|
Tesnilni obroč, prevlečen s Semicorex TaC, ki se uporablja za tesnilne komponente, zagotavlja izjemne prednosti v zahtevnih okoljih izdelave polprevodnikov. Prevleka TaC obravnava kritične izzive, povezane s kemično odpornostjo, ekstremnimi temperaturami in mehansko obrabo, kar omogoča višje proizvodne izkoristke, podaljšan čas delovanja opreme in na koncu nižje proizvodne stroške. V podjetju Semicorex smo predani izdelavi in dobavi visoko zmogljivih tesnilnih obročev, prevlečenih s TaC, ki združujejo kakovost s stroškovno učinkovitostjo.**
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Tantalum Carbide Coated Susceptor je kritična komponenta, ki igra ključno vlogo v procesih nanašanja, ki so bistveni za ustvarjanje polprevodniških rezin. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem*.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Tantalum Carbide Chuck je napredna komponenta, ki se uporablja v opremi za proizvodnjo polprevodnikov in je znana po svojih izjemnih termičnih in mehanskih lastnostih. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem*.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coated Ring je kritična komponenta, ki izpolnjuje te zahtevne zahteve. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem*.
Preberi večPošlji povpraševanjeGlava prhe, prevlečena s Semicorex TaC, je sestavni del postopka nanašanja s kemično paro in zagotavlja neprimerljivo učinkovitost in dolgo življenjsko dobo. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem*.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC prevlečena vpenjalna glava predstavlja pomemben napredek na področju proizvodnje polprevodnikov. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem*.
Preberi večPošlji povpraševanje