CVD TaC Coating Cover

Semicorex CVD TaC prevleka se ponaša z impresivno trdoto, ki običajno doseže 2500-3000 HV po Vickersovi lestvici. Ta izjemna trdota izhaja iz neverjetno močnih kovalentnih vezi med tantalom in atomi ogljika, ki tvorijo gosto, neprepustno oviro proti abrazivni obrabi in mehanskim deformacijam. Praktično to pomeni, da orodja in komponente ostanejo dlje časa ostrejši, ohranjajo dimenzijsko natančnost pokrova CVD TaC Coating Cover in zagotavljajo dosledno delovanje skozi celotno življenjsko dobo.

Grafit ima s svojo edinstveno kombinacijo lastnosti ogromen potencial za široko paleto aplikacij. Vendar njegova inherentna šibkost pogosto omejuje njegovo uporabo. CVD TaC premazi spremenijo igro, tvorijo neverjetno močno vez z grafitnimi substrati, ustvarjajo sinergistični material, ki združuje najboljše iz obeh svetov: visoko toplotno in električno prevodnost grafita z izjemno trdoto, odpornostjo proti obrabi in kemično inertnostjo CVD TaC Coating Cover.

Hitra temperaturna nihanja v epitaksijskih reaktorjih lahko uničijo materiale, povzročijo razpoke, zvijanje in katastrofalne okvare. CVD TaC Coating Cover pa ima izjemno odpornost na toplotne udarce, ki lahko prenese hitre cikle segrevanja in ohlajanja, ne da bi pri tem ogrozili svojo strukturno celovitost. Ta odpornost izhaja iz edinstvene mikrostrukture prevleke CVD TaC Coating Cover, ki omogoča hitro širjenje in krčenje brez ustvarjanja večjih notranjih napetosti.

Od jedkih kislin do agresivnih topil, kemično bojno polje je lahko neprizanesljivo. CVD TaC Coating Cover pa je trdna in izkazuje izjemno odpornost na široko paleto kemikalij in jedkih sredstev. Zaradi te kemične inertnosti je idealna izbira za aplikacije v kemični predelavi, raziskovanju nafte in plina ter drugih panogah, kjer so komponente redno izpostavljene težkim kemičnim okoljem.

Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) na mikroskopskem prerezu

Druge ključne aplikacije v opremi za epitaksijo:

Susceptorji in nosilci rezin:Te komponente držijo in segrevajo podlago med epitaksialno rastjo. CVD TaC prevleke na suceptorjih in nosilcih rezin zagotavljajo enakomerno porazdelitev toplote, preprečujejo kontaminacijo podlage in povečujejo odpornost proti upogibanju in degradaciji, ki jo povzročajo visoke temperature in reaktivni plini.

Plinski injektorji in šobe:Te komponente so odgovorne za zagotavljanje natančnih tokov reaktivnih plinov na površino substrata. Prevleke CVD TaC povečujejo njihovo odpornost proti koroziji in eroziji, zagotavljajo dosledno dovajanje plina in preprečujejo kontaminacijo z delci, ki bi lahko motila rast kristalov.

Obloge komor in toplotni ščiti:Notranje stene epitaksijskih reaktorjev so izpostavljene intenzivni vročini, reaktivnim plinom in potencialnemu kopičenju usedlin. Premazi CVD TaC ščitijo te površine, podaljšujejo njihovo življenjsko dobo, zmanjšujejo nastajanje delcev in poenostavljajo postopke čiščenja.