Grafit s prevleko TaC je ustvarjen s prevleko površine grafitne podlage visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD).
Tantalov karbid (TaC) je spojina, ki je sestavljena iz tantala in ogljika. Ima kovinsko električno prevodnost in izjemno visoko tališče, zaradi česar je ognjevzdržen keramični material, znan po svoji trdnosti, trdoti ter odpornosti na toploto in obrabo. Tališče tantalovih karbidov doseže vrh pri približno 3880 °C, odvisno od čistosti, in ima eno najvišjih tališč med binarnimi spojinami. Zaradi tega je privlačna alternativa, ko višje temperaturne zahteve presegajo zmožnosti delovanja, ki se uporabljajo v epitaksialnih postopkih sestavljenih polprevodnikov, kot sta MOCVD in LPE.
Podatki o materialu Semicorex TaC Coating
Projekti |
Parametri |
Gostota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivnost |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Trdota (HK) |
2000 |
Upor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Toplotna stabilnost |
<2500 ℃ |
Sprememba dimenzij grafita |
-10~-20um (referenčna vrednost) |
Debelina prevleke |
Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
|
|
Zgoraj navedene so tipične vrednosti |
|
Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon je specializirana komponenta, zasnovana za visoko zmogljive epitaksialne postopke v proizvodnji polprevodnikov. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Tantalum Carbide Coating Halfmoon Part je visoko specializirana komponenta, zasnovana za uporabo v procesu epitaksialnega nanašanja. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coating Half-moon je specializirana komponenta, izdelana iz grafita, prevlečenega s tantalovim karbidom (TaC), zasnovana za uporabo v epitaksialnih postopkih. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coating Chuck, vrhunska vakuumska vpenjalna glava, opremljena s TaC prevlekami, posebej zasnovana za polprevodniške peči. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeLahko ste prepričani, da kupite epitaksialno ploščo s prevleko TaC v naši tovarni. Epitaksialna plošča s prevleko Semicorex TaC (tantalov karbid) se ponaša z izjemno toplotno odpornostjo, zaradi česar je idealna za aplikacije, ki so izpostavljene visokim temperaturam. Njegova izjemna sposobnost, da prenese vročino, zagotavlja vzdržljivost in zanesljivost v zahtevnih okoljih. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex TaC Coated Plate je specializirana plošča, zasnovana za uporabo v epitaksialnih postopkih SiC, izdelana z natančnostjo iz visokokakovostnega grafitnega materiala. Njegova površina je natančno prevlečena s tantalovim karbidom (TaC), spojino, ki je znana po svoji izjemni čistosti in trdnosti. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanje