TaC prevlečen Halfmoon

Halfmoon s prevleko Semicorex TaC ohranja svojo strukturno celovitost in kemično inertnost pri povišanih temperaturah (do 2200 °C), potrebnih za epitaksijo SiC. To zagotavlja dosledno toplotno učinkovitost in preprečuje neželene reakcije s procesnimi plini ali izvornimi materiali. Poleg tega ga je mogoče oblikovati tako, da optimizira toplotno prevodnost in emisivnost ter spodbuja enakomerno porazdelitev toplote po površini sprejemnika. To vodi do bolj homogenih temperaturnih profilov rezin in izboljšane enotnosti v debelini epitaksialne plasti in koncentraciji dopinga. Poleg tega je mogoče koeficient toplotne razteznosti Halfmoon, prevlečenega s TaC, prilagoditi tako, da se zelo ujema s koeficientom SiC, kar zmanjša toplotno obremenitev med cikli ogrevanja in hlajenja. To zmanjša ukrivljenost rezin in tveganje za nastanek napak, kar prispeva k večjim izkoristkom naprave.

Halfmoon s prevleko iz TaC bistveno podaljša življenjsko dobo grafitnih prijemalk v primerjavi z alternativami brez prevleke/prevleke s SiC. Izboljšana odpornost na nanašanje SiC in toplotno razgradnjo zmanjša pogostost ciklov čiščenja in zamenjave, kar znižuje skupne proizvodne stroške.

Prednosti za zmogljivost naprave SiC:

Izboljšana zanesljivost in zmogljivost naprave:Izboljšana enakomernost in zmanjšana gostota napak v epitaksialnih slojih, zraslih na s TaC prevlečenem Halfmoonu, pomenita višje izkoristke naprave in izboljšano zmogljivost v smislu prebojne napetosti, upora pri vklopu in hitrosti preklopa.

Stroškovno učinkovita rešitev za velikoserijsko proizvodnjo:Podaljšana življenjska doba, zmanjšane zahteve glede vzdrževanja in izboljšana kakovost rezin prispevajo k stroškovno učinkovitejšemu proizvodnemu procesu za napajalne naprave iz SiC.

Halfmoon, prevlečen s Semicorex TaC, ima ključno vlogo pri napredovanju SiC epitaksije z obravnavanjem ključnih izzivov, povezanih z združljivostjo materialov, upravljanjem toplote in procesno kontaminacijo. To omogoča proizvodnjo visokokakovostnih SiC rezin, kar vodi do učinkovitejših in zanesljivejših močnostnih elektronskih naprav za aplikacije v električnih vozilih, obnovljivih virih energije in drugih zahtevnih industrijah.