Tesnilni obroč, prevlečen s TaC

Tesnilni obroč, prevlečen s Semicorex TaC, ki se uporablja za tesnilne komponente, zagotavlja izjemne prednosti v zahtevnih okoljih izdelave polprevodnikov. Prevleka TaC obravnava kritične izzive, povezane s kemično odpornostjo, ekstremnimi temperaturami in mehansko obrabo, kar omogoča višje proizvodne izkoristke, podaljšan čas delovanja opreme in na koncu nižje proizvodne stroške. V podjetju Semicorex smo predani izdelavi in dobavi visoko zmogljivih tesnilnih obročev, prevlečenih s TaC, ki združujejo kakovost s stroškovno učinkovitostjo.**

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Tesnilni obroč, prevlečen s Semicorex TaC, izkazuje izjemno inertnost na široko paleto korozivnih plinov in kemikalij, ki se uporabljajo v polprevodniških procesih, vključno s kemikalijami za plazemsko jedkanje (npr. fluor, klor, brom), dopanti (npr. bor, fosfor, arzen) in agresivnimi čistilna sredstva. Ta inertnost preprečuje degradacijo tesnila in kontaminacijo občutljivih procesnih komor.

In s tališčem, ki presega 3800 °C, tesnilni obroč, prevlečen s TaC, ohranja svojo strukturno celovitost in mehansko trdnost pri povišanih temperaturah, do katerih pride med obdelavo rezin. To zagotavlja zanesljivo tesnjenje med procesi visokotemperaturnega žarjenja, nanašanja in jedkanja.

Izjemna trdota tesnilnega obroča, prevlečenega s TaC, in nizek koeficient trenja zagotavljata izjemno odpornost proti obrabi, praskam in abraziji. To je ključnega pomena pri aplikacijah dinamičnega tesnjenja, kjer lahko ponavljajoče se gibanje ali stik z rezinami in drugimi komponentami povzroči nastajanje delcev in okvaro tesnjenja.

Tesnilni obroč, prevlečen s TaC, izkazuje zelo nizke stopnje izločanja plinov, tudi pri povišanih temperaturah, zaradi česar so idealni za aplikacije z visokim vakuumom. To zagotavlja čistost postopka in preprečuje odlaganje nezaželenih kontaminantov na občutljivih površinah rezin.

Posebne prednosti pri aplikacijah polprevodnikov:

Podaljšana življenjska doba tesnila:Tesnilni obroč, prevlečen s TaC, znatno podaljša življenjsko dobo tesnila z zagotavljanjem vrhunske odpornosti na kemične napade, toplotno degradacijo in mehansko obrabo. To zmanjša pogostost menjave tesnil, s čimer zmanjša čas izpada in stroške vzdrževanja.

Izboljšan izkoristek postopka in kakovost rezin:Inertna narava tesnilnega obroča, prevlečenega s TaC, zmanjša nastajanje delcev in kontaminacijo, kar vodi do višjih izkoristkov postopka in izboljšane kakovosti rezin. To je ključnega pomena za proizvodnjo visoko zmogljivih polprevodniških naprav s strogimi tolerancami napak.

Izboljšan čas delovanja in produktivnost opreme:Daljša življenjska doba tesnil in zmanjšane zahteve po vzdrževanju prispevajo k podaljšanju delovanja opreme in splošni produktivnosti. To je ključnega pomena za povečanje proizvodnje in izpolnjevanje zahtev proizvodnje polprevodnikov v velikem obsegu.