Vodilni obroči, prevlečeni s tantalovim karbidom

Vodilni obroči so običajno nameščeni nad grafitnim lončkom znotraj sistema termičnega polja. Delujejo v povezavi z lončkom, grelnikom in toplotnoizolacijskim valjem ter drugimi polprevodniškimi komponentami za vodenje in nadzor porazdelitve toplote in procesnih plinov.

Aprednostiod Tprevleka iz antalovega karbida

Slovi po vrhunski učinkovitostiTaC prevlekav aplikacijah za rast polprevodnikov tretje generacije z monokristali ponuja prevleka iz tantalovega karbida naslednje prednosti:

1. Izjemna toplotna stabilnost

Tantalov karbid ima izjemno toplotno odpornost z ultra visokim tališčem 3880 ℃. S to izjemno toplotno stabilnostjo se lahko vodilni obroči Semicorex, prevlečeni s tantalovim karbidom, stabilno uporabljajo v visokotemperaturnih okoljih pod 2500 ℃. Poleg tega kombinacija teh dveh materialov zmanjšuje tveganja razpokanja in luščenja prevleke zaradi temperaturnih sprememb, kar bistveno omogoča strukturno celovitost komponente med ponavljajočimi se procesi segrevanja in hlajenja.

2. Izjemna odpornost proti koroziji

Tantalov karbid ima izjemno odpornost proti koroziji in oksidaciji ter je kemično inerten za večino reaktivnih plinov, kot so amoniak, vodik in silicij. Zaradi te kemične stabilnosti vodilni obroči Semicorex, prevlečeni s tantalovim karbidom, učinkovito preprečujejo, da bi reaktivni plini razjedali matriko in poškodovali njihovo strukturno celovitost, hkrati pa se izogibajo tveganju kontaminacije zaradi reaktantov in nečistoč, ki vstopajo v kristalno strukturo.

Zmogljivost vodilnih obročev Semicorex, prevlečenih s tantalovim karbidom

Semicorexvodilni obroči, prevlečeni s tantalovim karbidomuporabite grafit visoke čistosti kot matrico in s tehnologijo CVD nanesite prevleko TaC na površino. Kombinacija teh dveh materialov omogoča vodilnim obročem Semicorex, prevlečenim s tantalovim karbidom, naslednje prednosti:

1. Vodenje pretoka plina in optimizacija polja pretoka

Med rastjo kristala uporaba vodilnih obročev pomaga optimizirati porazdelitev toka znotraj termičnega polja in usmerja reaktivne pline v nadzorovano smer toka in enakomerno porazdelitev. Zahvaljujoč svoji posebni strukturni zasnovi lahko vodilni obroči Semicorex, prevlečeni s tantalovim karbidom, vodijo plin, da teče in se enakomerno porazdeli, kar učinkovito prepreči previsoke ali nizke lokalne koncentracije plina.

2. Regulacija temperature in optimizacija toplotnega polja

Vodilni obroči, prevlečeni s tantalovim karbidom Semicorex, izkazujejo vrhunsko toplotno prevodnost, igrajo ključno vlogo pri uravnavanju porazdelitve temperature in zagotavljajo stabilno temperaturno polje za rast kristalov. Na primer, vodilni obroči Semicorex, prevlečeni s tantalovim karbidom, lahko pomagajo vzdrževati temperaturni gradient pri PVT rasti kristalov silicijevega karbida, kar zagotavlja, da se materiali razgradijo, transportirajo in kristalizirajo pod ustreznimi pogoji.