Prevleka SiC je tanka plast na suceptorju s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Material iz silicijevega karbida nudi številne prednosti pred silicijem, vključno z 10-kratno prebojno električno poljsko jakostjo, 3-kratno širino pasovne vrzeli, kar zagotavlja materialu visoko temperaturno in kemično odpornost, odlično odpornost proti obrabi in toplotno prevodnost.
Semicorex zagotavlja prilagojene storitve, vam pomaga pri inovacijah s komponentami, ki trajajo dlje, skrajšajo čase ciklov in izboljšajo donose.
Prevleka SiC ima več edinstvenih prednosti
Odpornost na visoke temperature: suceptor, prevlečen s CVD SiC, lahko prenese visoke temperature do 1600 °C, ne da bi bil podvržen občutni toplotni razgradnji.
Odpornost na kemikalije: Prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično odpornost na široko paleto kemikalij, vključno s kislinami, alkalijami in organskimi topili.
Odpornost proti obrabi: prevleka SiC zagotavlja materialu odlično odpornost proti obrabi, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki vključujejo visoko obrabo.
Toplotna prevodnost: prevleka CVD SiC zagotavlja materialu visoko toplotno prevodnost, zaradi česar je primeren za uporabo pri visokotemperaturnih aplikacijah, ki zahtevajo učinkovit prenos toplote.
Visoka trdnost in togost: Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, zagotavlja materialu visoko trdnost in togost, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki zahtevajo visoko mehansko trdnost.
Prevleka SiC se uporablja v različnih aplikacijah
Izdelava LED: CVD SiC prevlečen suceptor se zaradi svoje visoke toplotne prevodnosti in kemične odpornosti uporablja pri izdelavi različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globoko UV LED.
Mobilna komunikacija: CVD SiC prevlečen suceptor je ključni del HEMT za dokončanje epitaksialnega postopka GaN-on-SiC.
Obdelava polprevodnikov: CVD SiC prevlečen suceptor se uporablja v industriji polprevodnikov za različne aplikacije, vključno z obdelavo rezin in epitaksialno rastjo.
SiC prevlečene grafitne komponente
Izdelan iz grafita s prevleko iz silicijevega karbida (SiC), je prevleka nanesena z metodo CVD na posebne vrste grafita visoke gostote, tako da lahko deluje v visokotemperaturni peči z več kot 3000 °C v inertni atmosferi, 2200 °C v vakuumu .
Posebne lastnosti in majhna masa materiala omogočajo hitro segrevanje, enakomerno porazdelitev temperature in izjemno natančnost krmiljenja.
Podatki o materialu Semicorex SiC Coating
Tipične lastnosti |
Enote |
Vrednote |
Struktura |
|
FCC β faza |
Orientacija |
Delež (%) |
111 zaželeno |
Nasipna gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
Toplotna ekspanzija 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Zaključek CVD SiC prevlečen suceptor je kompozitni material, ki združuje lastnosti suceptorja in silicijevega karbida. Ta material ima edinstvene lastnosti, vključno z visoko temperaturno in kemično odpornostjo, odlično odpornostjo proti obrabi, visoko toplotno prevodnostjo ter visoko trdnostjo in togostjo. Zaradi teh lastnosti je privlačen material za različne visokotemperaturne aplikacije, vključno s predelavo polprevodnikov, kemično obdelavo, toplotno obdelavo, proizvodnjo sončnih celic in proizvodnjo LED.
Semicorex SiC ICP Etching Disk niso le komponente; je bistvenega pomena za vrhunsko proizvodnjo polprevodnikov, medtem ko industrija polprevodnikov nadaljuje z neusmiljenim prizadevanjem za miniaturizacijo in zmogljivostjo, se bo povpraševanje po naprednih materialih, kot je SiC, samo še stopnjevalo. Zagotavlja natančnost, zanesljivost in zmogljivost, ki je potrebna za delovanje našega tehnološko usmerjenega sveta. Pri Semicorexu smo predani izdelavi in dobavi visoko zmogljivega diska za jedkanje SiC ICP, ki združuje kakovost s stroškovno učinkovitostjo.**
Preberi večPošlji povpraševanjeObstajajo obsežne lastnosti Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc, zaradi katerih je nepogrešljiva komponenta v proizvodnji polprevodnikov, kjer so natančnost, vzdržljivost in robustnost opreme bistvenega pomena za uspeh visokotehnoloških polprevodniških naprav. V podjetju Semicorex smo predani izdelavi in dobavi visoko zmogljivih epitaksijskih plošč s prevleko iz SiC, ki združujejo kakovost s stroškovno učinkovitostjo.**
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Susceptor za ICP Etch je izdelan s poudarkom na ohranjanju visokih standardov kakovosti in doslednosti. Robustni proizvodni procesi, uporabljeni za ustvarjanje teh sprejemnikov, zagotavljajo, da vsaka serija izpolnjuje stroga merila učinkovitosti, kar zagotavlja zanesljive in dosledne rezultate pri jedkanju polprevodnikov. Poleg tega je Semicorex opremljen za zagotavljanje hitrih razporedov dostave, kar je ključnega pomena za ohranjanje koraka s hitrim preobratom v industriji polprevodnikov, kar zagotavlja, da so proizvodni roki izpolnjeni brez ogrožanja kakovosti. V Semicorexu smo predani proizvodnji in dobavi visoko zmogljivih SiC susceptor za ICP Etch, ki združuje kakovost s stroškovno učinkovitostjo.**
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Coated Support Ring je bistvena komponenta, ki se uporablja v procesu epitaksialne rasti polprevodnikov. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Coated Ring je ključna komponenta v procesu epitaksialne rasti polprevodnikov, zasnovan za izpolnjevanje zahtevnih zahtev sodobne proizvodnje polprevodnikov. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeZanesljivost in izjemna zmogljivost Semicorex SiC Boat for Solar Cell Diffusion izhaja iz njihove zmožnosti doslednega zagotavljanja v zahtevnih pogojih proizvodnje sončnih celic. Visokokakovostne lastnosti materiala SiC zagotavljajo, da ti čolni delujejo optimalno v širokem razponu delovnih pogojev, kar prispeva k stabilni in učinkoviti proizvodnji sončnih celic. Njihovi atributi delovanja vključujejo odlično mehansko trdnost, toplotno stabilnost in odpornost na okoljske dejavnike, zaradi česar je SiC Boat za difuzijo sončnih celic nepogrešljivo orodje v fotovoltaični industriji.
Preberi večPošlji povpraševanje