Satelitska plošča

Pollična satelitska plošča je vitalni nosilec rezin med postopkom epitaksialne rasti, ki zagotavlja enakomerno odlaganje in optimalno učinkovitost procesa. Ta plošča, zgrajena iz grafita visoke čistosti in prevlečena z robustnim silicijevim karbidom (sic), prinaša izjemno toplotno stabilnost, kemično odpornost in mehansko trdnost, kar utrjuje njegov položaj kot nepogrešljivo komponento v visokozmogljivi proizvodnji polprevodnikov.

Z grafitno bazo z visoko čisto čistostjo se satelitska plošča odlikuje v toplotni prevodnosti in strukturni celovitosti. TheSic prevlekaznatno poveča njeno trajnost in zagotavlja visokotemperaturno odpornost, kemično inertnost in dramatično zmanjšanje nastajanja delcev. Ta močna kombinacija zagotavlja, da plošča zdrži ostre pogoje obdelave, hkrati pa dosledno izvaja na visoki ravni. Grafitna baza olajša učinkovit prenos toplote in zagotavlja enakomerno porazdelitev temperature po rezini, medtem ko SIC prevleka ščiti pred korozivnimi procesnimi plini, preprečuje kontaminacijo in podaljša življenjsko dobo storitve. Poleg tega SIC površina zmanjša sproščanje delcev, kar je ključnega pomena za doseganje izdelave polprevodnikov z visoko donosom.

Satelitska plošča, zasnovana posebej za brezhibno integracijo s sistemi Aixtron G5+, zagotavlja natančno pozicioniranje rezin in rotacijsko ravnovesje, kar je bistveno za vzdrževanje stabilnih toplotnih pogojev in zmanjšanje stopnje napak. Napredna materialna sestava plošče ne le podaljša življenjsko dobo storitve, ampak tudi znatno znižuje operativne stroške in poveča produktivnost proizvodnje.

Satelitska plošča, ki se uporablja predvsem v kovinskem organskem kemičnem odlaganju hlapov (MOCVD), je ključnega pomena za gojenje epitaksialnih plasti na polprevodniških rezinah. Ima ključno vlogo pri proizvodnji naprednih polprevodniških naprav, vključno z LED-ji, elektroniko na osnovi SIC in GAN, fotonskimi in optoelektronskimi komponentami ter visokofrekvenčnimi RF naprav. Z zagotavljanjem stabilnih toplotnih pogojev in zmanjševanjem kontaminacije satelitska plošča zagotavlja konstantno rast epitaksialne plasti, kar vodi do izboljšanega ravnanja z rezinami in višjimi stopnjami donosa. Njegova optimizirana zasnova zagotavlja učinkovito podporo rezin, zmanjšuje napake in zagotavlja natančnost v celotnih fazah polprevodniške obdelave.

Pollična satelitska plošča služi kot bistvena sestavina za reaktorje Aixtron G5+ epitaksi, ki zagotavlja neprimerljivo trajnost, kemično odpornost in toplotno delovanje. Njegova vrhunska sestava in inženiring je ključnega pomena za proces proizvodnje polprevodnikov, kar zagotavlja proizvodnjo visoko donosnih in kakovostnih rezin. Vložite v satelitsko ploščo, da povečate izdelavo polprevodnikov in dosežete odličnost v procesih epitaksialne rasti.