Semicorex grafitni suceptor, zasnovan posebej za epitaksijsko opremo z visoko toplotno in korozijsko odpornostjo na Kitajskem. Naši substratni sprejemniki GaN-on-SiC imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
GaN-on-SiC Substratni nosilci rezin, ki se uporabljajo v fazah nanašanja tankih filmov ali pri obdelavi rezin, morajo prestati visoke temperature in ostro kemično čiščenje. Semicorex dobavlja substrat GaN-on-SiC, prevlečen z visoko čistostjo SiC, zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enakomernost za dosledno debelino epi plasti in odpornost ter trajno kemično odpornost. Fina kristalna prevleka SiC zagotavlja čisto, gladko površino, ki je ključnega pomena za rokovanje, saj se neokrnjene rezine dotikajo suceptorja na številnih točkah po celotnem območju.
Pri Semicorexu se osredotočamo na zagotavljanje visokokakovostnih in stroškovno učinkovitih izdelkov našim strankam. Naš substratni suceptor GaN-on-SiC ima ugodno ceno in se izvaža na številne evropske in ameriške trge. Naš cilj je biti vaš dolgoročni partner, ki zagotavlja stalno kakovost izdelkov in izjemne storitve za stranke.
Parametri substratnega susceptorja GaN-on-SiC
Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC |
||
SiC-CVD lastnosti |
||
Kristalna struktura |
FCC β faza |
|
Gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Kemijska čistost |
% |
99.99995 |
Toplotna zmogljivost |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 °) |
430 |
Toplotna ekspanzija (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Lastnosti substratnega susceptorja GaN-on-SiC
- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata dobro gostoto in lahko igrata dobro zaščitno vlogo pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.
- Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, ki se uporablja za rast monokristalov, ima zelo visoko ploskost površine.
- Zmanjšajte razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno podlago in plastjo silicijevega karbida, učinkovito izboljšajte trdnost lepljenja, da preprečite razpoke in razslojevanje.
- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.
- Visoko tališče, odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah, odpornost proti koroziji.