Prevleka SiC je tanka plast na suceptorju s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Material iz silicijevega karbida nudi številne prednosti pred silicijem, vključno z 10-kratno prebojno električno poljsko jakostjo, 3-kratno širino pasovne vrzeli, kar zagotavlja materialu visoko temperaturno in kemično odpornost, odlično odpornost proti obrabi in toplotno prevodnost.
Semicorex zagotavlja prilagojene storitve, vam pomaga pri inovacijah s komponentami, ki trajajo dlje, skrajšajo čase ciklov in izboljšajo donose.
Prevleka SiC ima več edinstvenih prednosti
Odpornost na visoke temperature: suceptor, prevlečen s CVD SiC, lahko prenese visoke temperature do 1600 °C, ne da bi bil podvržen občutni toplotni razgradnji.
Odpornost na kemikalije: Prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično odpornost na široko paleto kemikalij, vključno s kislinami, alkalijami in organskimi topili.
Odpornost proti obrabi: prevleka SiC zagotavlja materialu odlično odpornost proti obrabi, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki vključujejo visoko obrabo.
Toplotna prevodnost: prevleka CVD SiC zagotavlja materialu visoko toplotno prevodnost, zaradi česar je primeren za uporabo pri visokotemperaturnih aplikacijah, ki zahtevajo učinkovit prenos toplote.
Visoka trdnost in togost: Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, zagotavlja materialu visoko trdnost in togost, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki zahtevajo visoko mehansko trdnost.
Prevleka SiC se uporablja v različnih aplikacijah
Izdelava LED: CVD SiC prevlečen suceptor se zaradi svoje visoke toplotne prevodnosti in kemične odpornosti uporablja pri izdelavi različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globoko UV LED.
Mobilna komunikacija: CVD SiC prevlečen suceptor je ključni del HEMT za dokončanje epitaksialnega postopka GaN-on-SiC.
Obdelava polprevodnikov: CVD SiC prevlečen suceptor se uporablja v industriji polprevodnikov za različne aplikacije, vključno z obdelavo rezin in epitaksialno rastjo.
SiC prevlečene grafitne komponente
Izdelan iz grafita s prevleko iz silicijevega karbida (SiC), je prevleka nanesena z metodo CVD na posebne vrste grafita visoke gostote, tako da lahko deluje v visokotemperaturni peči z več kot 3000 °C v inertni atmosferi, 2200 °C v vakuumu .
Posebne lastnosti in majhna masa materiala omogočajo hitro segrevanje, enakomerno porazdelitev temperature in izjemno natančnost krmiljenja.
Podatki o materialu Semicorex SiC Coating
Tipične lastnosti |
Enote |
Vrednote |
Struktura |
|
FCC β faza |
Orientacija |
Delež (%) |
111 zaželeno |
Nasipna gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
Toplotna ekspanzija 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Zaključek CVD SiC prevlečen suceptor je kompozitni material, ki združuje lastnosti suceptorja in silicijevega karbida. Ta material ima edinstvene lastnosti, vključno z visoko temperaturno in kemično odpornostjo, odlično odpornostjo proti obrabi, visoko toplotno prevodnostjo ter visoko trdnostjo in togostjo. Zaradi teh lastnosti je privlačen material za različne visokotemperaturne aplikacije, vključno s predelavo polprevodnikov, kemično obdelavo, toplotno obdelavo, proizvodnjo sončnih celic in proizvodnjo LED.
Semicorexovi MOCVD susceptorji predstavljajo vrhunec izdelave, vzdržljivosti in zanesljivosti za zapletene grafitne epitaksije in naloge natančnega rokovanja z rezinami. Ti suceptorji so znani po svoji visoki gostoti, izjemni ravnosti in vrhunskem toplotnem nadzoru, zaradi česar so najboljša izbira za zahtevna proizvodna okolja. V podjetju Semicorex smo predani izdelavi in dobavi visokozmogljivih susceptorjev MOCVD, ki združujejo kakovost s stroškovno učinkovitostjo.
Preberi večPošlji povpraševanjePlošča Semicorex za epitaksialno rast je kritičen element, posebej zasnovan za zapletenost epitaksialnih procesov. Naša ponudba, ki jo je mogoče prilagoditi različnim specifikacijam in željam, zagotavlja individualno prilagojeno rešitev, ki brezhibno ustreza vašim edinstvenim operativnim potrebam. Ponujamo vrsto možnosti prilagajanja, od sprememb velikosti do variacij v nanosu premaza, kar nam omogoča načrtovanje in dobavo izdelka, ki lahko izboljša učinkovitost v različnih scenarijih uporabe. V Semicorexu smo predani izdelavi in dobavi visoko zmogljivih plošč za epitaksialno rast, ki združujejo kakovost s stroškovno učinkovitostjo.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Wafer Carrier za MOCVD, izdelan za natančne potrebe kovinsko organskega kemičnega naparjevanja (MOCVD), se pojavi kot nepogrešljivo orodje pri obdelavi enokristalnega Si ali SiC za integrirana vezja velikega obsega. Sestava Wafer Carrier for MOCVD se ponaša z neprimerljivo čistostjo, odpornostjo na povišane temperature in korozivna okolja ter vrhunskimi tesnilnimi lastnostmi za ohranjanje neokrnjene atmosfere. V podjetju Semicorex smo predani izdelavi in dobavi visoko zmogljivih nosilcev rezin za MOCVD, ki združujejo kakovost s stroškovno učinkovitostjo.
Preberi večPošlji povpraševanjeNosilec za čolne SiC proizvajalca Semicorex je inovativno skovan iz SiC, izrecno prilagojen za osrednje vloge v fotovoltaičnem, elektronskem in polprevodniškem sektorju. Nosilec za čolne Semicorex SiC, izdelan z natančnostjo, nudi zaščitno in stabilno okolje za rezine v vseh fazah – naj gre za predelavo, transport ali skladiščenje. Njegova natančna zasnova zagotavlja natančnost dimenzij in enakomernost, kar je ključno za zmanjšanje deformacije rezin in maksimiranje operativnega izkoristka.
Preberi večPošlji povpraševanjeVodilni obroč Semicorex SiC je zasnovan za optimizacijo procesa rasti posameznega kristala. Njegova izjemna toplotna prevodnost zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote, kar prispeva k tvorbi visokokakovostnih kristalov z večjo čistostjo in strukturno celovitostjo. Semicorexova zavezanost vodilni kakovosti na trgu, povezana s konkurenčnimi fiskalnimi vidiki, utrjuje našo željo po vzpostavitvi partnerstev pri izpolnjevanju vaših zahtev za transport polprevodniških rezin.
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Epi-SiC Susceptor, komponenta, zasnovana z natančno pozornostjo do detajlov, je nepogrešljiva za izdelavo vrhunskih polprevodnikov, zlasti pri epitaksialnih aplikacijah. Zasnova Epi-SiC Susceptorja, ki uteleša natančnost in inovativnost, podpira epitaksialno nanašanje polprevodniških materialov na rezine, kar zagotavlja izjemno učinkovitost in zanesljivost delovanja. Semicorexova zavezanost vodilni kakovosti na trgu, povezana s konkurenčnimi fiskalnimi vidiki, utrjuje našo željo po vzpostavitvi partnerstev pri izpolnjevanju vaših zahtev za transport polprevodniških rezin.
Preberi večPošlji povpraševanje