Prevleka SiC je tanka plast na suceptorju s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Material iz silicijevega karbida nudi številne prednosti pred silicijem, vključno z 10-kratno prebojno električno poljsko jakostjo, 3-kratno širino pasovne vrzeli, kar zagotavlja materialu visoko temperaturno in kemično odpornost, odlično odpornost proti obrabi in toplotno prevodnost.
Semicorex zagotavlja prilagojene storitve, vam pomaga pri inovacijah s komponentami, ki trajajo dlje, skrajšajo čase ciklov in izboljšajo donose.
Prevleka SiC ima več edinstvenih prednosti
Odpornost na visoke temperature: suceptor, prevlečen s CVD SiC, lahko prenese visoke temperature do 1600 °C, ne da bi bil podvržen občutni toplotni razgradnji.
Odpornost na kemikalije: Prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično odpornost na široko paleto kemikalij, vključno s kislinami, alkalijami in organskimi topili.
Odpornost proti obrabi: prevleka SiC zagotavlja materialu odlično odpornost proti obrabi, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki vključujejo visoko obrabo.
Toplotna prevodnost: prevleka CVD SiC zagotavlja materialu visoko toplotno prevodnost, zaradi česar je primeren za uporabo pri visokotemperaturnih aplikacijah, ki zahtevajo učinkovit prenos toplote.
Visoka trdnost in togost: Suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, zagotavlja materialu visoko trdnost in togost, zaradi česar je primeren za aplikacije, ki zahtevajo visoko mehansko trdnost.
Prevleka SiC se uporablja v različnih aplikacijah
Izdelava LED: CVD SiC prevlečen suceptor se zaradi svoje visoke toplotne prevodnosti in kemične odpornosti uporablja pri izdelavi različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globoko UV LED.
Mobilna komunikacija: CVD SiC prevlečen suceptor je ključni del HEMT za dokončanje epitaksialnega postopka GaN-on-SiC.
Obdelava polprevodnikov: CVD SiC prevlečen suceptor se uporablja v industriji polprevodnikov za različne aplikacije, vključno z obdelavo rezin in epitaksialno rastjo.
SiC prevlečene grafitne komponente
Izdelan iz grafita s prevleko iz silicijevega karbida (SiC), je prevleka nanesena z metodo CVD na posebne vrste grafita visoke gostote, tako da lahko deluje v visokotemperaturni peči z več kot 3000 °C v inertni atmosferi, 2200 °C v vakuumu .
Posebne lastnosti in majhna masa materiala omogočajo hitro segrevanje, enakomerno porazdelitev temperature in izjemno natančnost krmiljenja.
Podatki o materialu Semicorex SiC Coating
Tipične lastnosti |
Enote |
Vrednote |
Struktura |
|
FCC β faza |
Orientacija |
Delež (%) |
111 zaželeno |
Nasipna gostota |
g/cm³ |
3.21 |
Trdota |
Trdota po Vickersu |
2500 |
Toplotna zmogljivost |
J kg-1 K-1 |
640 |
Toplotna ekspanzija 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngov modul |
Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃) |
430 |
Velikost zrn |
μm |
2~10 |
Temperatura sublimacije |
℃ |
2700 |
Feleksuralna moč |
MPa (RT 4-točkovno) |
415 |
Toplotna prevodnost |
(W/mK) |
300 |
Zaključek CVD SiC prevlečen suceptor je kompozitni material, ki združuje lastnosti suceptorja in silicijevega karbida. Ta material ima edinstvene lastnosti, vključno z visoko temperaturno in kemično odpornostjo, odlično odpornostjo proti obrabi, visoko toplotno prevodnostjo ter visoko trdnostjo in togostjo. Zaradi teh lastnosti je privlačen material za različne visokotemperaturne aplikacije, vključno s predelavo polprevodnikov, kemično obdelavo, toplotno obdelavo, proizvodnjo sončnih celic in proizvodnjo LED.
Semicorex Silicon Pedestal, pogosto spregledana, a kritično pomembna komponenta, ima ključno vlogo pri doseganju natančnih in ponovljivih rezultatov v procesih difuzije in oksidacije polprevodnikov. Specializirana platforma, na kateri silicijevi čolni počivajo v visokotemperaturnih pečeh, ponuja edinstvene prednosti, ki neposredno prispevajo k izboljšani enakomernosti temperature, izboljšani kakovosti rezin in na koncu vrhunskemu delovanju polprevodniških naprav.**
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Silicon Annealing Boat, natančno zasnovan za rokovanje in obdelavo silicijevih rezin, ima ključno vlogo pri doseganju visoko zmogljivih polprevodniških naprav. Njegove edinstvene oblikovne značilnosti in lastnosti materiala so bistvenega pomena za kritične korake izdelave, kot sta difuzija in oksidacija, zagotavljajo enotno obdelavo, maksimizirajo izkoristek in prispevajo k splošni kakovosti in zanesljivosti polprevodniških naprav.**
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex MOCVD Epitaxy Susceptor se je pojavil kot kritična komponenta v kovinsko-organski kemični naparjeni epitaksiji (MOCVD), ki omogoča izdelavo visoko zmogljivih polprevodniških naprav z izjemno učinkovitostjo in natančnostjo. Zaradi svoje edinstvene kombinacije lastnosti materiala je popolnoma primeren za zahtevna toplotna in kemična okolja, do katerih pride med epitaksialno rastjo sestavljenih polprevodnikov.**
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex Horizontal SiC Wafer Boat se je izkazal kot nepogrešljivo orodje pri proizvodnji visoko zmogljivih polprevodniških in fotovoltaičnih naprav. Ti specializirani nosilci, natančno izdelani iz silicijevega karbida visoke čistosti (SiC), ponujajo izjemne toplotne, kemične in mehanske lastnosti, bistvene za zahtevne postopke, ki so vključeni v izdelavo najsodobnejših elektronskih komponent.**
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Multi Pocket Susceptor predstavlja kritično omogočitveno tehnologijo pri epitaksialni rasti visokokakovostnih polprevodniških rezin. Ti suceptorji, izdelani s sofisticiranim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD), zagotavljajo robustno in visoko zmogljivo platformo za doseganje izjemne enotnosti epitaksialne plasti in učinkovitosti postopka.**
Preberi večPošlji povpraševanjeSemicorex SiC Ceramic Wafer Boat se je pojavil kot kritična omogočitvena tehnologija, ki zagotavlja neomajno platformo za visokotemperaturno obdelavo, hkrati pa varuje celovitost rezin in zagotavlja čistost, potrebno za visoko zmogljive naprave. Prilagojen je industriji polprevodnikov in fotovoltaike, ki temeljita na natančnosti. Vsak vidik obdelave rezin, od nanašanja do difuzije, zahteva natančen nadzor in nedotaknjena okolja. V podjetju Semicorex smo predani izdelavi in dobavi visoko zmogljivega SiC keramičnega čolna za rezine, ki združuje kakovost s stroškovno učinkovitostjo.**
Preberi večPošlji povpraševanje