Sic prevlečeni prevozniki rezin

Nosilci rezin, prevlečenih s polprevodnimi siC, so napredne komponente, ki podpirajo rezine za visokotemperaturne procese v polprevodniških aplikacijah, kot so epitaksialna rast, difuzija in KVB. Prevozniki zagotavljajo strukturne koristi od visokega čistosti grafita v kombinaciji z največjimi površinskimi koristmi z uporabo goste in uniformeSic prevlekaZa optimalno toplotno stabilnost, kemično odpornost in mehansko trdnost v naporni pogoji obdelave.

Grafitno jedro z visoko čistočo za optimalno toplotno prevodnost

Nosilci rezin, prevlečenih s sic, so substratni material ultra-finega zrna, grafita z visoko čistoči. Je učinkovit toplotni prevodnik, ki je lahek in obdelovalni, ga je mogoče izdelati v zapletene geometrije, ki jih zahtevata edinstvena velikost rezin in procesne faktorje. Grafit ponuja enakomerno ogrevanje na površini rezin, ki omejuje pojav toplotnih gradientov in napak toplotne obdelave.

Gosta sic prevleka za zaščito površine in združljivost procesov

Nosilec grafita je prevlečen z visoko čistostjo, silicijevim karbidom CVD. SiC prevleka zagotavlja neprepustno, brez zaščite pred korozijo, oksidacijo in kontaminacijo plina iz vrst, kot so vodik, klor in silon. Končni rezultat je nizko delnico, trd nosilec, ki se ne razgradi ali izgubi dimenzijske stabilnosti, se odloči za številne toplotne cikle in predstavlja znatno zmanjšan potencial za kontaminacijo rezin.

Ugodnosti in ključne funkcije

Toplotna odpornost: SIC prevleke so stabilne do temperatur, ki presegajo 1600 ° C, kar je optimizirano za visokotemperaturne epitaksije in difuzijske potrebe.

Odličen kemični odporen: zdrži vse korozivne procesne pline in čistilne kemikalije ter omogoča daljšo življenjsko dobo in manj izpadov.

Nizka ustvarjanje delcev: SIC površina zmanjša lusk in odstranjevanje delcev ter ohranja čiščenje procesnega okolja, ki je ključnega pomena za donos naprave.

Nadzor dimenzij: natančno zasnovan za zapiranje toleranc, da se zagotovi enotna opora rezin, tako da se z njo lahko samodejno ravna z rezinami.

Zmanjšanje stroškov: daljši življenjski cikli in nižje potrebe po vzdrževanju zagotavljajo nižje skupne stroške lastništva (TCO) kot tradicionalni grafitni ali goli nosilci.

Prijave:

Nosilci rezin, prevlečenih s sic, se pogosto uporabljajo pri proizvodnji polprevodnikov moči, sestavljenih polprevodnikov (kot so gan, sic), MEM, LED in druge naprave, ki zahtevajo visokotemperaturno predelavo v agresivnih kemičnih okoljih. Posebej so bistveni v epitaksialnih reaktorjih, kjer površinska čistoča, trajnost in toplotna enakomernost neposredno vplivajo na kakovost rezin in učinkovitost proizvodnje.

Prilagoditev in nadzor kakovosti

PolkemSic prevlečenNosilci rezin se proizvajajo v strogih protokolih za nadzor kakovosti. Prav tako imamo prilagodljivost s standardnimi velikostmi in konfiguracijami in lahko po meri inženirske rešitve, ki ustrezajo zahtevam kupcev. Ne glede na to, ali imate 4-palčni ali 12-palčni format rezin, lahko optimiziramo nosilce rezin za vodoravne ali navpične reaktorje, paketno ali enojno obdelavo rezin in specifične recepte epitaksije.