Sic nosilec za ICP

Pod polčasnim grafitnim nosilcem za ICP, ki je zasnovan za brezkompromisne zahteve sodobnih induktivno kontradplazma (ICP) in orodij za odlaganje, prinaša redko ravnovesje odpornosti plazme, toplotne natančnosti in mehanske stabilnosti. V njenem jedru leži lastniški grafitni substrat z majhnimi patch, katerega kristalna orientacija je tesno nadzorovana za proizvodnjo izjemno anizotropnega vedenja: toplotna prevodnost v ravnini daleč presega običajne izostatične stopnje, medtem ko skozi ravnino ostaja namerno moderirano za zatiranje vročih točk. To usmerjeno upravljanje toplote zagotavlja, da vsaka umreti v 150 mm do 300 mm rezine doživlja enakomerno rampiranje temperature in ravnotežje v stanju dinamičnega ravnovesja, ki neposredno prevaja v ožje porazdelitve kritične dimenzije (CD) in večji donos naprav.

Obito okoli tega ultra -zapusnega grafita je konformna plast silicijevega karbida, ki je v soodvisu v visokotemperaturni CVD peč. SIC prevleka - shemično inertna do 2000 ° C in se ponaša z mikrorozroznostjo, ki je manjša od 0,1% - oblikuje neprepustni ščit pred fluori, klora in bromovim radikalom, ki so pogosti v kemikarijah z visoko gostoto ICP. Dolgotrajno testiranje vzdržljivosti v CF₄/O₂, CL₂/BCL₃ in HBR/HE/HE je pokazalo, da je erozijska stopnja pod 0,3 µmper100 -uri, kar je razširilo življenjsko dobo nosilcev, ki presegajo industrijske norme in drastično zmanjšajo izpad preventivnega vzdrževanja.

Dimenzionalna natančnost je enako brezkompromisna: površinska plodnost je nadzorovana znotraj ± 5 µm po celotnem žepnem območju, medtem ko so značilnosti izključitve robov lasersko opremljene za zaščito oboda rezin pred mikro -arciranjem. Tesna toleranca, skupaj s trdoto SIC -jevega premaza, se upira nastajanju delcev pod mehanskim vpenjanjem in elektrostatičnim kolesarjenjem, varovanjem procesov vozlišča pod 10 nm iz kontaminacije okvare ubijanja. Za reaktorje z visoko močjo ICP nizka električna upornost nosilca (<40 µΩ · m) spodbuja hitro stabilizacijo RF na tleh, kar zmanjšuje nihanja napetosti, ki sicer lahko uničijo fotoresistične profile ali povzročijo mikro mamino.

Vsaka serija polkoreknih nosilcev je doživela celovito meropologijo - ramansko preslikavo za preverjanje grafitne kristalografske poravnave, presek SEM za potrditev celovitosti plasti SIC in analizo preostalega plina za potrjevanje pragov nečistoče na ravni PPM. Ker vztrajamo pri proizvodnji mikrolotov (manj kot 20 kosov na vožnjo), statistične kontrolne karte procesov ostajajo izjemno tesne, kar nam omogoča, da zagotovimo obnovljivost rezin in voda, ki se je dobavitelji množičnega trga preprosto ne morejo ujemati. Geometrije po meri, globine žepa in zadnji hladilni kanali so na voljo s časom svinca kot tri tedne, ki omogoča originalno opremo za opremo in z visoko mejo, da optimizirajo recepte komore brez preoblikovanja celotnih skladov strojne opreme.

Z združevanjem anizotropnega grafita svetovnega razreda s hermetičnim sic oklepom, polkovodni nosilec za ICP zagotavlja Fabs z dolgotrajno, ki je bila kontaminacija in toplotno enakomerna platforma - ena, ki ne samo, da prenese najstrožje plazemske okolje, ampak aktivno izboljšuje uspešnost oken in malega. Za proizvajalce naprav, ki si prizadevajo za vedno večje širine linije, strmejše profile in nižje stroške lastništva, je to izbirni prevoznik, kjer šteje vsak mikron, vsaka rezina in vsaka uri urejanja.