domov > Izdelki > Prevlečen s silicijevim karbidom > Nosilec za jedkanje ICP > Induktivno sklopljena plazma (ICP)
Induktivno sklopljena plazma (ICP)

Induktivno sklopljena plazma (ICP)

Semicorexov susceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, za induktivno sklopljeno plazmo (ICP) je zasnovan posebej za postopke obdelave rezin pri visokih temperaturah, kot sta epitaksija in MOCVD. S stabilno, visokotemperaturno odpornostjo proti oksidaciji do 1600 °C naši nosilci zagotavljajo enakomerne toplotne profile, laminarne vzorce toka plina in preprečujejo kontaminacijo ali difuzijo nečistoč.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Potrebujete nosilec za rezine, ki lahko prenese visokotemperaturna in močna kemična okolja? Ne iščite dlje od Semicorexovega suceptorja, prevlečenega s silicijevim karbidom, za induktivno sklopljeno plazmo (ICP). Naši nosilci imajo fino prevleko iz kristalov SiC, ki zagotavlja vrhunsko toplotno odpornost, enakomerno toplotno enotnost in trajno kemično odpornost.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem suceptorju SiC za induktivno sklopljeno plazmo (ICP).


Parametri susceptorja za induktivno sklopljeno plazmo (ICP)

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC

SiC-CVD lastnosti

Kristalna struktura

FCC β faza

Gostota

g/cm³

3.21

Trdota

Trdota po Vickersu

2500

Velikost zrn

μm

2~10

Kemijska čistost

%

99.99995

Toplotna zmogljivost

J·kg-1 ·K-1

640

Temperatura sublimacije

2700

Feleksuralna moč

MPa (RT 4-točkovno)

415

Youngov modul

Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)

430

Toplotna ekspanzija (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Toplotna prevodnost

(W/mK)

300


Lastnosti suceptorja, prevlečenega s silicijevim karbidom, za induktivno sklopljeno plazmo (ICP)

- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini

Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C

Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.

Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.

Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.

- Doseči najboljši vzorec laminarnega toka plina

- Zagotovljena enakomernost toplotnega profila

- Preprečite kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč





Hot Tags: Induktivno sklopljena plazma (ICP), Kitajska, proizvajalci, dobavitelji, tovarna, po meri, razsuto, napredno, vzdržljivo

Povezana kategorija

Pošlji povpraševanje

Prosimo, oddajte svoje povpraševanje v spodnjem obrazcu. Odgovorili vam bomo v 24 urah.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept