8-palčni obročki rezin

Polkovni 8-palčni obroči za rezine so vrhunska strojna oprema za polprevodniško obdelavo, ki je namenjena varnosti in podpiranju silicijevih rezin s pomembnimi postopki termičnega, jedkanja in odlaganja. Zgrajen iz visokokakovostnega grafita z gostoprevleka silicijevega karbida (sic)Za dodatno trdnost obroč za držalo rezin daje vrhunsko toplotno stabilnost, kemično odpornost in mehansko trdnost, zaradi česar je idealen za uporabo v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih, kot so CVD (kemična odlaganje hlapov), PECVD in epitaksi.

Ključne značilnosti:

Sestava materiala:

Material substrata jeGrafit visoke čistosti, ki je izbran za visoko toplotno prevodnost in strukturno homogenost. Visoka gostota in uniformaSilicon karbid (sic) filmska prevlekase nanese na površini, ki ima veliko odpornost na oksidacijo in kemični napad tudi pri povišanih temperaturah, ki presegajo 1000 ° C. Mešanica vsebuje rok trajanja dolgega trajanja in minimalno tveganje za kontaminacijo rezin.

Varno pozicioniranje rezin

Obročene rezine, ki je zasnovan posebej za 8-palčne (200 mm) rezine, ima obroč za rezine natančne tolerance in optimalno zasnovano notranjo geometrijo za varno oprijem rezine. Obroč ostane stabilen v položaju med toplotnim kolesarjenjem in pretokom plina, kar zmanjšuje mikro gibanje, kar bi lahko privedlo do ustvarjanja delcev ali loma rezin.

Toplotna enotnost:

Inherentna toplotna prevodnost grafitnega substrata in stabilnost siC prevleke zagotavljata konsistenten prenos toplote na površino rezine. To ima za posledico dosledne rezultate procesa, zmanjšan toplotni stres in boljši donos naprave.

Kemična in plazemska odpornost:

SIC površina ščiti grafitno jedro pred ostrimi procesnimi plazmami in plini, kar ponuja odpornost na ponavljajoče se procesne cikle. Kemična inertnost je še posebej koristna pri korozivnem jedkanju ali reaktivnem plinskem okolju, ki vsebuje halogen.

Prilagoditev je na voljo:

8-palčni obroči za rezine so lahko zasnovani po meri, da ustrezajo določeni opremi ali zahtevah procesov, to je razlike v oblikovanju robne podpore, lokaciji rež in konfiguraciji pritrditve. Naši oblikovalci sodelujejo z originalnimi orehi in Fabs, da bi zagotovili najvišjo zmogljivost za vsako uporabo.

Prijave:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Epitaksialni procesi rasti
• Difuzijske peči
• Visokotemperaturno žarjenje
• Drugi polprevodniški sistemi toplotne obdelave

Vsak 8-palčni obročki rezin je podvržena strogim pregledom, kot so preverjanje natančnosti dimenzij, test adhezije prevleke in kvalifikacija toplotnega kolesarjenja. Naša napredna proizvodna tehnologija zagotavlja enotno debelino sic premaza in najlepšo površinsko obdelavo, da izpolni velike zahteve v industriji polprevodnikov.

SEMMEMOREX 8-palčni obroči za rezine (grafit s siC) so bistvena oprema za proizvodnjo polprevodnikov nove generacije, ki zagotavlja mehansko natančnost, vzdržljivost materiala in kemično stabilnost. Od nadgradnje procesne opreme do konstrukcije rezin rezin naslednje generacije ta izdelek ponuja zanesljivost in zmogljivost, potrebno za omogočanje današnjih zahtevnih proizvodnih okolij.